珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司向坤获国家专利权
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龙图腾网获悉珠海格力电子元器件有限公司;珠海格力电器股份有限公司申请的专利MOSFET器件及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120076373B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510529941.2,技术领域涉及:H10D30/63;该发明授权MOSFET器件及其制备方法是由向坤;马万里;刘浩文;肖帅;闫正坤;谭键文设计研发完成,并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本MOSFET器件及其制备方法在说明书摘要公布了:本申请提供了一种MOSFET器件及其制备方法,该器件包括至少一个第一区域,包括第一掺杂区、第二掺杂区和第一体区,第一掺杂区位于外延层背离衬底一侧,第二掺杂区环绕第一掺杂区的外周,第一体区位于第二掺杂区靠近衬底的一侧,第一区域与MOSFET器件的源极接触;多个第二区域分布在第一区域的外周,第二区域包括外延区域、第三掺杂区和第二体区,第二体区环绕外延区域的外周,第三掺杂区位于第二体区背离外延区域的一侧,其中,第一体区与第二体区接触,第三掺杂区与第二掺杂区接触,第二区域与MOSFET器件的栅极结构接触,以解决现有技术中MOSFET器件导通电阻较大和面积不能优化的问题。
本发明授权MOSFET器件及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种MOSFET器件,其特征在于,包括衬底、外延层、栅极结构和源极,所述外延层位于所述衬底的一侧,所述MOSFET器件还包括: 至少一个第一区域,位于所述外延层中,包括第一掺杂区、第二掺杂区和第一体区,所述第一掺杂区位于所述外延层背离所述衬底一侧,所述第二掺杂区环绕所述第一掺杂区的外周,所述第一体区位于所述第二掺杂区靠近所述衬底的一侧,所述第一区域与所述MOSFET器件的源极接触; 多个第二区域,位于所述外延层中且多个所述第二区域分布在所述第一区域的外周,所述第二区域包括外延区域、第三掺杂区和第二体区,所述外延区域位于所述外延层背离所述衬底一侧,所述第二体区环绕所述外延区域的外周,所述第三掺杂区位于所述第二体区背离所述外延区域的一侧,且所述第三掺杂区位于所述第二体区背离所述衬底的一侧,其中,所述第一体区与所述第二体区接触,所述第三掺杂区与所述第二掺杂区接触,所述第二掺杂区和所述第三掺杂区均具有第一掺杂类型,所述第一掺杂区、所述第一体区和所述第二体区均具有第二掺杂类型,所述第二区域与所述MOSFET器件的栅极结构接触, 一个所述第一区域的周围包围若干个所述第二区域,所述外延区域为JFET区域,所述第三掺杂区和所述第二体区均环绕在所述JFET区域外周。
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