广州市艾佛光通科技有限公司李国强获国家专利权
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龙图腾网获悉广州市艾佛光通科技有限公司申请的专利一种BAW压力传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120091753B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510526151.9，技术领域涉及：H10N30/857；该发明授权一种BAW压力传感器及其制备方法是由李国强;衣新燕;罗添友;欧阳佩东设计研发完成，并于2025-04-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种BAW压力传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种BAW压力传感器及其制备方法，涉及半导体技术领域。包括依次层叠的衬底、底电极、压电层和顶电极，衬底与底电极之间设置有空腔，顶电极的上表面覆盖有传感层，传感层受压力能够变色，传感层用于根据压力变化形成用以进行压力变化定性分析的颜色变化信号。本发明的BAW压力传感器解决了顶电极受环境影响导致影响测量结果准确性以及目前BAW压力传感器缺少对压力定性分析的问题，达到提高测量结果准确性以及实现对压力进行定性分析的效果。
本发明授权一种BAW压力传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种BAW压力传感器，包括依次层叠的衬底（100）、底电极（200）、压电层（300）和顶电极（400），所述衬底（100）与所述底电极（200）之间设置有空腔（500），其特征在于，所述顶电极（400）的上表面覆盖有传感层（600），所述传感层（600）受压力能够变色，所述传感层（600）用于根据压力变化形成用以进行压力变化定性分析的颜色变化信号；所述传感层（600）由邻苯二亚甲基丙二腈型化合物材料制成； 所述邻苯二亚甲基丙二腈型化合物的化学结构式为： ； 其中，和均为含氮芳香环或其衍生物。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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