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龙图腾网获悉拓思精工科技(苏州)有限公司申请的专利晶圆清洁设备及晶圆清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120127031B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510521050.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆清洁设备及晶圆清洁方法是由杨杰;孔玉朋;蒋君;宋昌万;陈传磊;李瑞评;张海忠设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆清洁设备及晶圆清洁方法在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆清洁设备及晶圆清洁方法，属于晶圆清洗技术领域。并排设置的槽式清洗机和单片刷洗机，这样，通过第一取片组件将清洗后晶圆输送至待料工位后，单片刷洗机内的第二取片组件通过进片口和出片口将晶圆输送至刷洗甩干组件上进一步清洗和干燥。也即是，将槽式清洗机和单片刷洗机集成联动实现对晶圆的清洗和干燥，能够省略相关技术中采用人工将槽式清洗后的晶圆搬运至晶圆干燥设备内，而后再由人工将干燥后的晶圆搬运至单片刷片机内的工艺流程。如此，在减少设备投入成本的同时降低了人员传片的不稳定性，降低了因员工可能误操作导致的风险性及提高了晶圆的清洗效率及清洗的制程能力，保证集成晶圆产品良率。

本发明授权晶圆清洁设备及晶圆清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洁设备，其特征在于，包括：并排设置的槽式清洗机和单片刷洗机； 所述槽式清洗机包括：第一壳体、安装在所述第一壳体内的第一取片组件和两组抓片转移组件，以及分布在所述第一取片组件和所述两组抓片转移组件之间的两个药液槽、两个中转台和至少一个清洁水槽，所述药液槽和所述清洁水槽均具有竖直设置的多个槽体；所述中转台具有水平设置的支撑位；所述第一壳体靠近所述单片刷洗机的一侧具有出片口且设置有位于所述第一取片组件和所述出片口之间的待料工位； 所述单片刷洗机包括：第二壳体、安装在所述第二壳体内的第二取片组件和至少一个刷洗甩干组件，所述第二壳体靠近所述第一壳体的一侧具有进片口； 所述第一取片组件用于：抓取单个待洗晶圆以转运至所述支撑位；每组所述抓片转移组件用于：抓取所述支撑位上的单个待洗晶圆翻转目标角度后置于所述药液槽内，或，抓取所述药液槽内清洗后的晶圆至所述清洁水槽，或，抓取所述清洁水槽内的晶圆翻转所述目标角度后置于所述支撑位；所述第一取片组件还用于：抓取支撑位上的已洗的晶圆至所述待料工位；所述第二取片组件用于：通过所述进片口和出片口将所述待料工位上的晶圆转运至所述刷洗甩干组件上； 所述第一壳体与所述第二壳体沿第一方向排布；所述第一取片组件和所述两组抓片转移组件沿第二方向排布，所述第二方向垂直于所述第一方向； 所述抓片转移组件包括：平移机构、升降机构、旋转驱动件、夹臂驱动件和平行设置的两个夹臂，所述平移机构安装在所述第一壳体的底部且沿所述第一方向延伸；所述升降机构与所述平移机构滑动连接且沿第三方向延伸；所述旋转驱动件安装在所述升降机构上，且所述旋转驱动件的旋转轴与所述夹臂驱动件紧固连接；所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述两个夹臂的一端均与所述夹臂驱动件连接，一个所述夹臂背离所述夹臂驱动件的端部具有相对设置的两个第一限位夹持凸部，另一个所述夹臂背离所述夹臂驱动件的端部具有相对设置的两个第二限位夹持凸部，所述两个第一限位夹持凸部与所述两个第二限位夹持凸部之间形成夹持空间； 其中，所述旋转驱动件被配置为：驱动所述夹臂驱动件绕所述旋转驱动件的旋转轴旋转所述目标角度；所述夹臂驱动件被配置为：驱动所述两个夹臂相对移动，以带动所述两个第一限位夹持凸部与所述两个第二限位夹持凸部相向移动或相背移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓思精工科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215200 江苏省苏州市吴江区平望镇梅堰西路58号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。