浙江老鹰半导体技术有限公司;杭州开幕光子技术有限公司张焕玲获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江老鹰半导体技术有限公司;杭州开幕光子技术有限公司申请的专利数据处理方法、装置、测试设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119985369B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510459407.9,技术领域涉及:G01N21/31;该发明授权数据处理方法、装置、测试设备及存储介质是由张焕玲;孟君威;朱涛;王豪设计研发完成,并于2025-04-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本数据处理方法、装置、测试设备及存储介质在说明书摘要公布了:本申请涉及一种数据处理方法、装置、测试设备及存储介质,该方法包括:采集包括基本参数数据和基本参数数据对应的光谱参数数据的目标芯片的初始光谱数据,确定光谱参数数据中的最大值得到目标芯片的光谱参数最大值,根据目标芯片的光谱参数最大值,确定目标芯片的光谱参数基准值,目标芯片的光谱参数基准值位于目标芯片的光谱参数最大值与光谱参数最小值之间,根据目标芯片的光谱参数基准值和基本参数数据确定基本参数范围,根据基本参数范围从初始光谱数据选取基本参数数据以及对应的光谱参数数据,得到目标芯片的目标光谱数据。采用本方法能够可以保证选取的光谱数据为采集的光谱数据的部分数据,可以减少光谱数据的数据量。
本发明授权数据处理方法、装置、测试设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种数据处理方法,其特征在于,包括: 采集目标芯片的初始光谱数据,所述目标芯片为待测晶圆上的任一光电芯片,所述初始光谱数据包括基本参数数据和所述基本参数数据对应的光谱参数数据,所述初始光谱数据为波长光谱强度数据,所述基本参数数据为波长数据,所述光谱参数数据为光谱强度数据; 确定所述光谱参数数据中的最大值,得到所述目标芯片的光谱强度最大值; 确定所述光谱参数数据中的最小值,得到所述目标芯片的光谱强度最小值; 根据所述光谱强度最大值,确定所述目标芯片的光谱强度基准值,所述光谱强度基准值位于所述光谱强度最大值与所述目标芯片的光谱强度最小值之间;所述光谱强度基准值根据以下公式确定: C=A100.1*M,或者 C=A-B*N%+B 其中,C为所述光谱强度基准值,A为所述光谱强度最大值,B为所述光谱强度最小值,M为第一阈值,N为第二阈值; 根据所述光谱强度基准值和所述基本参数数据,确定基本参数范围; 根据所述基本参数范围从所述初始光谱数据中选取基本参数数据以及对应的光谱参数数据,得到所述目标芯片的目标光谱数据。
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