深圳中科飞测科技股份有限公司吕肃获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119965068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510451582.3,技术领域涉及:H01J37/12;该发明授权电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜是由吕肃;岳鹿野;汪海锋;庞芝亮;陈鲁设计研发完成,并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜在说明书摘要公布了:本发明涉及一种电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜,电子束阻断器包括:具有中心通孔的基体,所述基体沿中心通孔的轴线分为左瓣电极和右瓣电极,所述左瓣电极与右瓣电极之间通过绝缘层隔离;所述左瓣电极和所述右瓣电极用以施加不同电压以产生横向偏转电场,基体靠近中心通孔的一侧设有沿电子束的路径向外延伸的凸起,以增加横向偏转电场区域的纵向覆盖范围,延长电子束在横向偏转电场的受场时间;电子束阻断器集成了静电透镜极片与电子束阻断功能,减少了部件和电源数量,缩小设备体积,利于设备集成,还能降低电磁干扰,提升成像质量,凸起的设计能延长电子束在横向偏转电场的受场时间,进一步提升电子束操控的精准度。
本发明授权电子束阻断器、静电透镜及扫描电镜在权利要求书中公布了:1.一种静电透镜,包括电子束阻断器,所述静电透镜具有供电子束通过的电子束通孔,其特征在于,包括:沿电子束的路径依次设置的上极片、所述电子束阻断器和下极片,所述上极片、下极片的电子束通孔与所述电子束阻断器的中心通孔同轴设置; 其中,电子束阻断器包括具有中心通孔的基体,所述基体沿所述中心通孔的轴线分为左瓣电极和右瓣电极,所述左瓣电极与所述右瓣电极之间通过绝缘层隔离;所述左瓣电极和所述右瓣电极的电压均可独立调节,所述左瓣电极和所述右瓣电极用以施加不同电压以产生横向偏转电场; 所述基体靠近所述中心通孔的一侧设有沿电子束的路径向外延伸的凸起,以增加所述横向偏转电场区域的纵向覆盖范围,延长电子束在所述横向偏转电场的受场时间。
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