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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种测量设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119984030B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510450947.0，技术领域涉及：G01B9/02015；该发明授权一种测量设备是由陈鲁;袁明波;马砚忠;郁健设计研发完成，并于2025-04-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种测量设备在说明书摘要公布了：本申请提供的测量设备，基于双斐索干涉仪的光路设计，在第一PBS分光棱镜和第一保护玻璃之间设置第三四分之一波片，在第二PBS分光棱镜和第二保护玻璃之间设置第四四分之一波片，第一保护玻璃将入射的部分光束反射至第三四分之一波片，再经第一PBS分光棱镜后反射出光路，第二保护玻璃将入射的部分光束反射至第四四分之一波片，再经第二PBS分光棱镜后反射出光路，以防止对路的保护玻璃反射的光进入到本侧干涉仪中，滤除串扰，保证了测量精度。

本发明授权一种测量设备在权利要求书中公布了：1.一种测量设备，其特征在于，包括： 照明模块，所述照明模块用于输出第一偏振光和第二偏振光； 第一干涉仪，所述第一干涉仪包括第一PBS分光棱镜、第一四分之一波片、第一干涉模块、第三四分之一波片和第一探测器，所述第一探测器表面覆盖有第一保护玻璃，所述第一偏振光依次经所述第一PBS分光棱镜及所述第一干涉模块入射至待测件上表面，经所述待测件上表面反射的光束经所述第一干涉模块形成的第一干涉光束，再依次经所述第一四分之一波片、所述第一PBS分光棱镜及所述第三四分之一波片进入所述第一保护玻璃，所述第一保护玻璃将入射的所述第一干涉光束的部分光束成像到所述第一探测器上，另一部分光束反射至所述第三四分之一波片，再经所述第一PBS分光棱镜后反射出光路； 第二干涉仪，所述第二干涉仪包括第二PBS分光棱镜、第二四分之一波片、第二干涉模块、第四四分之一波片和第二探测器，所述第二探测器表面覆盖有第二保护玻璃，所述第二偏振光依次经所述第二PBS分光棱镜及所述第二干涉模块入射至待测件下表面，经所述待测件下表面反射的光束经所述第二干涉模块形成的第二干涉光束，再依次经所述第二四分之一波片、所述第二PBS分光棱镜及所述第四四分之一波片进入所述第二保护玻璃，所述第二保护玻璃将入射的所述第二干涉光束的部分光束成像到所述第二探测器上，另一部分光束反射至所述第四四分之一波片，再经所述第二PBS分光棱镜后反射出光路。

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