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龙图腾网获悉深圳中科飞测科技股份有限公司申请的专利一种晶圆明暗场缺陷检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119901683B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510394124.0，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种晶圆明暗场缺陷检测装置是由陈鲁;张鹏斌;刘健鹏;仇志远;周俊涛设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆明暗场缺陷检测装置在说明书摘要公布了：本申请提供的一种晶圆明暗场缺陷检测装置，设置有多个倍率的物镜，可根据检测精度的需求而灵活切换这些物镜，实现高检测精度低检测速度与低检测精度高检测速度的切换；且在暗场光源端精确配置暗场照明光束，使暗场照明光斑覆盖所需多个物镜倍率下暗场探测器对应的采集视场，通过有效控制暗场照明光斑区域避免明暗场采集视场的串扰。

本发明授权一种晶圆明暗场缺陷检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆明暗场缺陷检测装置，其特征在于，包括明场照明光源、物镜、暗场照明光源、明场探测器及暗场探测器，所述物镜的多个倍率可切换； 所述明场照明光源出射的光束经所述物镜照射至被测晶圆的表面，反射产生的明场信号光经所述物镜的光轴一侧后形成的明场采集视场被所述明场探测器获取，成像得到明场图像； 所述暗场照明光源出射的光束照射至所述被测晶圆的表面，散射产生的暗场信号光经所述物镜的光轴另一侧后形成的暗场采集视场被所述暗场探测器获取，成像得到暗场图像；其中： 通过配置所述暗场照明光源的发光面调控暗场照明光斑在所述被测晶圆表面的分布，以使所述暗场照明光斑覆盖所述物镜所有倍率下对应的暗场采集视场且避免对所述明场采集视场的串扰，配置所述暗场照明光源的发光面的宽度、长度及光强，使光束满足所述暗场照明光斑在所述被测晶圆表面的分布要求，所述暗场照明光源的发光面的长度为C′=CMI，所述暗场照明光源的发光面的宽度为W′=W×cosθMI，所述暗场照明光源的发光面的尺寸被配置为C′×W′，其中：C为所述暗场照明光斑的长度，MI为所述暗场照明光源出射的光束所经的暗场照明光路的放大率，W为所述暗场照明光斑的宽度，θ为照明光线与所述被测晶圆的法线角度； 所述明场图像和所述暗场图像被同时采集，且用于通过图像处理分别得到所述被测晶圆表面的明场缺陷特征和暗场缺陷特征。

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