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龙图腾网获悉江苏雷博微电子设备有限公司申请的专利一种晶圆表面清洗设备及用于驱动毛刷清洗晶圆的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119905389B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510373094.5，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种晶圆表面清洗设备及用于驱动毛刷清洗晶圆的方法是由杨成;周舟设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆表面清洗设备及用于驱动毛刷清洗晶圆的方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆清洗设备技术，具体涉及一种晶圆表面清洗设备及用于驱动毛刷清洗晶圆的方法，包括平台、摆臂转轴、保护罩、轴承座、旋转杆与毛刷；驱动机构，所述驱动机构设置于平台的下端；冷却机构，所述冷却机构设置于保护罩中；张紧机构，所述张紧机构设置于保护罩中；其中，所述冷却机构包括制冷箱，所述制冷箱固定安装于保护罩的底面，所述保护罩的两端均固定安装有冷却传动部，所述制冷箱与冷却传动部之间设置有输液部，所述保护罩的下端设置有风冷部。本发明通过优化电机布局增强传动稳定性，并配备自动张紧与警示机制，显著提升了晶圆清洗过程的精度、稳定性和可靠性，同时降低了维护难度与成本。

本发明授权一种晶圆表面清洗设备及用于驱动毛刷清洗晶圆的方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆表面清洗设备，其特征在于：包括平台（1），所述平台（1）顶面设置有圆形的保护壳，所述平台（1）上转动设置有摆臂转轴（2），所述摆臂转轴（2）的上端固定连接有保护罩（3），且保护罩（3）的上端设置有密封盖（31）； 驱动机构（4），所述驱动机构（4）设置于平台（1）的下端，运用驱动设备运转； 轴承座（5），所述轴承座（5）安装于保护罩（3）的底面，所述轴承座（5）上转动连接有旋转杆（6），且旋转杆（6）的上端延伸至保护罩（3）内，并与保护罩（3）转动连接，所述旋转杆（6）的下端安装有毛刷（7）； 冷却机构（8），所述冷却机构（8）设置于保护罩（3）中，用于冷却传动组件； 张紧机构（9），所述张紧机构（9）设置于保护罩（3）中，用于张紧传动组件； 其中，所述冷却机构（8）包括制冷箱（81），所述制冷箱（81）固定安装于保护罩（3）的底面，所述保护罩（3）的两端均固定安装有冷却传动部（82），所述制冷箱（81）与冷却传动部（82）之间设置有输液部（83），所述保护罩（3）的下端设置有风冷部（84）。

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