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龙图腾网获悉上海大学申请的专利用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119506797B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510091733.9，技术领域涉及：C23C14/34；该发明授权用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法是由刘海设计研发完成，并于2025-01-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法在说明书摘要公布了：一种用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法，方法包括：提供基板，所述基板包括一个或多个光栅结构区域；提供至少两种靶源材料，设置于所述基板上方；提供控制组件，并将所述控制组件置于所述靶源材料和所述基板之间且贴合于所述基板的表面放置；通过调整所述靶源材料相对于第一通孔和第二通孔的位置在所述光栅结构区域的任一区域上形成至少两层材料层，且每层材料层的厚度沿目标方向逐渐减小，所述目标方向为形成所述材料层所采用的第一通孔指向形成所述材料层所采用的第二通孔的方向。以实现多层光学渐变结构的厚度连续变化得到精确控制。

本发明授权用于制备多层光学渐变结构的控制组件及方法在权利要求书中公布了：1.一种用于制备多层光学渐变结构的方法，其特征在于，包括： 提供基板，所述基板包括一个或多个光栅结构区域； 提供至少两种靶源材料，设置于所述基板上方； 提供控制组件，并将所述控制组件置于所述靶源材料和所述基板之间且贴合于所述基板的表面放置，所述控制组件包括：具有预设间距的第一控制板和第二控制板；所述第一控制板包括至少两个第一通孔，所述第二控制板包括至少一个第二通孔，至少两个所述第一通孔和至少一个所述第二通孔的中心线不重合，所述第一通孔投影于所述第二控制板上的投影范围与所述第二通孔的范围部分重合；所述控制组件用于在所述第二通孔内沉积形成所述多层光学渐变结构，所述多层光学渐变结构包括至少两层厚度变化趋势相反的材料层，材料在沉积形成所述材料层时依次通过所述第一通孔和所述第二通孔； 通过调整所述靶源材料相对于第一通孔和第二通孔的位置在所述光栅结构区域的任一区域上形成厚度渐变趋势相反的两层材料层； 所述靶源材料相对于所述第一通孔和所述第二通孔的相对位置满足预设条件，所述预设条件包括： ， 其中，、分别表示靶源材料的活动范围中左边界临界坐标值；、分别表示靶源材料的活动范围中右边界临界坐标值；为第一控制板与基板之间的距离；为靶源材料中心至基板表面的距离；为第一通孔区域中在轴的左侧临界坐标值，为第一通孔区域中在轴的右侧临界坐标值；为第一通孔区域中在轴的左侧临界坐标值，为第一通孔区域中在轴的右侧临界坐标值；为第二通孔区域中在轴的左侧临界坐标值，为第二通孔区域中在轴的左侧临界坐标值；为第二通孔区域中在轴的右侧临界坐标值，为第二通孔区域中在轴的右侧临界坐标值。

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