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龙图腾网获悉北洋星光(成都)科技有限公司申请的专利一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510085168.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统是由叶良云;叶阳设计研发完成，并于2025-01-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供了一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统，涉及芯片制造技术领域；本发明利用数字微镜器件DMD生成纯白图像，通过面阵CCD捕捉光路镜片的反射光图像，再使用CCD控制器采集面阵CCD的反射光图像，并对所有像素进行累加处理，将累加值作为镜片清洁度数据；通过实时监测光路清洁度，并根据监测结果进行按需维护，可以有效保持光路镜片的洁净度，提高光刻机的成像质量和光刻精度，从而提高芯片的良品率，避免了过度维护和不足维护的问题，减少了维护次数和维护时间，降低了维护成本。此外，本发明还能根据相关数据进行不良品批次预测和污染源分析预测，进一步挖掘利用所采集的各项数据，进而实现综合评估受影响的不良品批次和污染源。

本发明授权一种光路清洁度检测装置、监测方法及处理系统在权利要求书中公布了：1.一种光路清洁度检测装置，用于对光刻机的光路进行镜片清洁度检测，其特征在于，包括面阵CCD、数字微镜器件DMD、CCD控制器、数据采集模块、数据分析模块和报警提示模块；其中， 面阵CCD：在光刻机载物台的边缘且避开承片台的位置，安装一个高分辨率的面阵CCD；其中，所述面阵CCD用于捕捉光路镜片的反射光图像； 数字微镜器件DMD：用于生成纯白图像，并以100％的反射光路的投射到面阵CCD的靶面上； CCD控制器：负责采集面阵CCD的反射光图像，并对所有像素进行累加处理，将累加值作为镜片清洁度数据； 数据采集模块：用于持续采集存储清洁大数据；其中，包括光刻机综合运行数据、芯片流片质量数据、镜片清洁度数据和反射光图像； 数据分析模块：用于根据清洁大数据进行数据分析预测；其中，包括维护周期预测、不良品批次预测和污染源分析预测； 报警提示模块：当镜片清洁度数据低于设定的镜片清洁度阈值时，发出清洁度告警信号并提示需要进行清洁维护。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北洋星光(成都)科技有限公司，其通讯地址为：610000 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区天府大道北段1700号9栋1单元12楼1222号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。