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龙图腾网获悉视拓(苏州)工业自动化有限公司申请的专利一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119827520B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411946026.5，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法及系统是由惠洁;李硕硕;张永帅;胡浩;顾云龙设计研发完成，并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法及系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法及系统，属于晶圆缺陷检测技术领域，其技术方案要点包括：基于单像素感知方法获取待检测半导体晶圆的欠采样傅里叶系数向量；根据压缩感知算法重构欠采样傅里叶系数向量，得到目标傅里叶系数向量；根据目标傅里叶系数向量得到待检测半导体晶圆的频谱；根据频谱对待检测半导体晶圆进行缺陷检测，本发明基于单像素感知方法进行缺陷检测，相比于传统光学成像技术中使用CCD等阵列探测器件采集光信号的方法，该方法光谱响应范围广，采样速度快，并且能在弱光场景及远距离场景中保持较高的检测灵敏度，同时本发明利用频谱特征对待检测半导体晶圆进行缺陷检测，提升了检测速度。

本发明授权一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法及系统在权利要求书中公布了：1.一种提高半导体晶圆缺陷检测灵敏度的方法，其特征在于，包括： 基于单像素感知方法获取待检测半导体晶圆的欠采样傅里叶系数向量； 根据压缩感知算法重构所述欠采样傅里叶系数向量，得到目标傅里叶系数向量； 根据所述目标傅里叶系数向量得到所述待检测半导体晶圆的频谱； 根据所述频谱对所述待检测半导体晶圆进行缺陷检测； 其中，所述基于单像素感知方法获取待检测半导体晶圆的欠采样傅里叶系数向量，包括: 基于拜耳滤镜和傅里叶变换构建彩色编码图案； 基于圆形采样方法与频谱能量参数，在所述待检测半导体晶圆的表面确定采样点； 采用四步相移法将所述彩色编码图案投影至每个所述采样点，得到每个所述采样点对应的傅里叶系数； 将每个所述采样点对应的傅里叶系数组合，得到所述待检测半导体晶圆的欠采样傅里叶系数向量； 其中，所述根据压缩感知算法重构所述欠采样傅里叶系数向量，得到目标傅里叶系数向量，包括： 根据所述欠采样傅里叶系数向量的特征选择测量矩阵和稀疏矩阵； 根据所述测量矩阵和所述稀疏矩阵计算感知矩阵； 基于所述感知矩阵对所述欠采样傅里叶系数向量进行重构，得到所述目标傅里叶系数向量； 其中，所述基于所述感知矩阵对所述欠采样傅里叶系数向量进行重构，得到所述目标傅里叶系数向量，包括： 根据平滑函数Fσu构建重构模型：其中，参数σ表示平滑函数对L0范数的逼近程度，φ为所述感知矩阵，u为所述欠采样傅里叶系数向量，v为所述目标傅里叶系数向量； 设置所述参数σ的取值为σ∈σ1,σ2,…,σz，其中σ1σ2…σz，其中z为σ取值的个数； 对每个所述取值对应的平滑函数进行优化求解，得到每个取值对应的解； 在所述每个取值对应的解中选择全局最优解，并根据所述全局最优解对所述欠采样傅里叶系数向量进行重构，得到所述目标傅里叶系数向量； 其中，所述根据所述频谱对所述待检测半导体晶圆进行缺陷检测，包括： 计算所述频谱与预设频谱的频谱相似系数，所述预设频谱根据无缺陷的晶圆模版获得； 在所述频谱中选取多个特征点，并计算每个所述特征点与对应的预设特征点的相关系数，所述预设特征点根据所述预设频谱得到； 根据所述频谱相似系数和所述相关系数对所述待检测半导体晶圆进行缺陷检测。

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