常州裕能石英科技有限公司王支虎获国家专利权
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龙图腾网获悉常州裕能石英科技有限公司申请的专利一种晶体生长炉坩埚加热装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119553353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411748417.6,技术领域涉及:C30B15/00;该发明授权一种晶体生长炉坩埚加热装置是由王支虎;舒闵设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体生长炉坩埚加热装置在说明书摘要公布了:本发明涉及晶体生长炉技术领域,具体为一种晶体生长炉坩埚加热装置,包括牵引机构,设置在牵引机构内的加热机构、设置在加热机构上的籽晶杆预热机构、设置在加热机构和籽晶杆预热机构之间的杆轴校稳机构以及设置在加热机构内的熔料坩埚;所述牵引机构包括用于为晶体生成提供附着基础的籽晶杆。通过在传统单晶硅加热熔炼装置的顶部设置独立的籽晶杆预热机构,当籽晶杆在初始状态被悬吊在加热装置的正上方后,籽晶杆预热机构便可包裹杆体,此时加热装置内释放的热能便会主动传递至籽晶杆预热机构内,最终籽晶杆便可与原料熔炼的温度保持恒定,从而可以避免籽晶杆与熔料存在温差而导致后续晶体生成提拉后发生裂纹。
本发明授权一种晶体生长炉坩埚加热装置在权利要求书中公布了:1.一种晶体生长炉坩埚加热装置,包括牵引机构(100),其特征在于,还包括设置在牵引机构(100)内的加热机构(200)、设置在加热机构(200)上的籽晶杆预热机构(300)、设置在加热机构(200)和籽晶杆预热机构(300)之间的杆轴校稳机构(400)以及设置在加热机构(200)内的熔料坩埚(500); 所述牵引机构(100)包括用于为晶体生成提供附着基础的籽晶杆(160); 所述加热机构(200)包括用于为熔料坩埚(500)提供密封加热的主隔热仓(210)和副隔热仓(220),所述主隔热仓(210)和副隔热仓(220)的内部均设置有保温层(230)和恒温垫(240),两个所述恒温垫(240)的顶端均设置有封盖(250); 所述籽晶杆预热机构(300)包括为初始悬吊下籽晶杆(160)提供恒温预热处理的密封组件(310)、第二封罩(320)以及第三封罩(330);所述密封组件(310)包括贴合于两个封盖(250)顶部的第一封罩(311)以及设置在第一封罩(311)底部端口中的密封垫(312),且第一封罩(311)、第二封罩(320)以及第三封罩(330)整体呈塔形结构,用于为籽晶杆(160)提供无干扰的热处理环境; 所述杆轴校稳机构(400)包括设置在籽晶杆(160)升降路径上且呈圆周均布的多个增压垫片(420),所述增压垫片(420)用于为籽晶杆(160)旋转提供增稳力,以降低籽晶杆(160)抖动幅度,所述杆轴校稳机构(400)还包括设置在两个封盖(250)内的承压套管(410); 所述承压套管(410)整体呈T字形结构,且承压套管(410)的管壁上开设有均布的多个滑槽,而滑槽内设置有L形的控位杆(460); 多个所述增压垫片(420)均匀安装在承压套管(410)顶部的端口内,且控位杆(460)贯穿至承压套管(410)内腔的端头承压于增压垫片(420)底部的端头。
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