芯得铭科技(深圳)有限公司赖衍帆获国家专利权
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龙图腾网获悉芯得铭科技(深圳)有限公司申请的专利键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119542233B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411718791.1,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质是由赖衍帆;温展超设计研发完成,并于2024-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及一种键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质,其中,方法为通过第一相机和第二相机分别采集并持续监控键合工具和键合界面,得到键合图像;对键合图像进行图像处理并提取特征,获取键合工具位置、姿态以及键合区域的几何特征;从而通过预先构建的键合路径规划模型获取键合工具的当前移动路径,并输出控制键合工具按照当前移动路径进行芯片键合的指令;利用所述第一相机与所述第二相机,对键合工具按照当前移动路径,执行键合操作的键合过程进行实时监控,以实现复杂温度环境的键合系统中,通过双相机进行高精度、高效率定位,完成芯片键合的目的。
本发明授权键合系统中双相机精密定位方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种键合系统中双相机精密定位方法,其特征在于,包括以下步骤: 通过第一相机和第二相机分别采集并持续监控键合工具和键合界面,得到键合图像,所述键合图像包括键合工具图像和键合界面图像;其中,所述第一相机聚焦于键合工具,所述第二相机聚焦于键合界面,二者基于时间戳同步采集同一时刻对应的图像信息; 对所述键合图像进行图像处理并提取特征,获取键合工具位置、姿态以及键合区域的几何特征; 基于所述键合工具位置、姿态和所述键合区域的几何特征,通过预先构建的键合路径规划模型获取所述键合工具的当前移动路径,并输出控制所述键合工具按照所述当前移动路径进行芯片键合的指令,所述键合路径规划模型是基于各种历史键合操作中各种键合工具位置、姿态以及键合区域几何特征的数据,利用机器学习算法训练而成,输入为键合工具位置、姿态和键合区域几何特征相关数据,输出为键合工具进行芯片键合时的移动路径、移动速度和移动力度; 通过所述键合工具执行芯片键合指令,并利用所述第一相机与所述第二相机,对所述键合工具按照所述当前移动路径,执行键合操作的键合过程进行实时监控。
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