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龙图腾网获悉卓劼(北京)激光科技有限公司申请的专利一种线宽压窄模块及其散热控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119518393B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411567531.9，技术领域涉及：H01S3/041；该发明授权一种线宽压窄模块及其散热控制系统是由祝桂鹏;杨军红;孙涛设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种线宽压窄模块及其散热控制系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体光刻领域，公开了一种线宽压窄模块及其散热控制系统，包括壳体，壳体内固定设置有棱镜、光栅和冷却组件，棱镜用于对准分子激光光斑进行扩束；光栅用于对准分子激光的光谱进行选择并形成衍射激光；冷却组件包括第一冷板组和第二冷板组，第一冷板组与棱镜贴合固定以降低棱镜的温度，第二冷板组与光栅贴合固定以降低光栅的温度；第一冷板组和第二冷板组均设有用于冷却液流动的冷却通道；本发明在棱镜以及光栅的表面设置冷板组，在冷板组的冷却通道中输入冷却液，高效的带走棱镜以及光栅上的所产生积蓄的热量，避免棱镜和光栅出现受热畸变，最终保证激光波长的稳定，其散热效率更高，成本更低。

本发明授权一种线宽压窄模块及其散热控制系统在权利要求书中公布了：1.一种线宽压窄模块，其特征在于，包括壳体，所述壳体内固定设置有： 棱镜，所述棱镜用于对准分子激光光斑进行扩束； 光栅，所述光栅用于对准分子激光的光谱进行选择并形成衍射激光； 冷却组件，所述冷却组件包括第一冷板组和第二冷板组，所述第一冷板组与所述棱镜贴合固定以降低所述棱镜的温度，所述第二冷板组与所述光栅贴合固定以降低所述光栅的温度；所述第一冷板组和所述第二冷板组均设置有用于冷却液流动的冷却通道； 所述第一冷板组包括相对设置的第一冷板和第二冷板，所述第一冷板和第二冷板均与所述准分子激光的光路平行，且分别与所述棱镜的上表面及下表面贴合固定；所述第二冷板组包括相对设置的第三冷板和第四冷板，所述第三冷板和第四冷板均与所述准分子激光的光路平行，且分别与所述光栅的上表面与下表面贴合固定； 所述第一冷板、第二冷板、第三冷板及第四冷板均设置有第二冷却通道和第三冷却通道，所述第二冷却通道和第三冷却通道分别包括突出设置于所述第一冷板或第二冷板或第三冷板或第四冷板的第二进水口和第二出水口以及第三进水口和第三出水口；所述第二冷却通道与所述第三冷却通道上下平行设置，且平行于准分子激光光路；所述第二冷却通道和所述第三冷却通道均呈波浪形结构，且所述第二冷却通道与所述第三冷却通道的结构互为对称；第二进水口与第三进水口同侧对向排布，第二出水口与第三出水口同侧对向排布。

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