成都新紫光半导体科技有限公司邓跃获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉成都新紫光半导体科技有限公司申请的专利离子注入机及其排气系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223190570U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422642279.5，技术领域涉及：F04B37/08；该实用新型离子注入机及其排气系统是由邓跃设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子注入机及其排气系统在说明书摘要公布了：本公开涉及一种离子注入机及其排气系统，该排气系统包括第一排气单元和第二排气单元。其中，第一排气单元包括用于与离子注入机的腔室连通的第一排气管路，以及设于第一排气管路的第一泵组和废气处理装置，其中，第一泵组位于腔室和废气处理装置之间；第二排气单元包括用于与离子注入机的冷泵再生装置连通的第二排气管路，第二排气管路远离冷泵再生装置的一端用于与车间排气管道连通。本公开的排气系统可延长废气处理装置的寿命，使得保养时间更加灵活，提高离子注入机的运行时间，同时，由于冷泵正常工作时冷泵再生装置是关闭的，只在再生时使用，总气量对车间排气管道的影响很小。
本实用新型离子注入机及其排气系统在权利要求书中公布了：1.一种离子注入机的排气系统，其特征在于，包括： 第一排气单元，包括用于与所述离子注入机的腔室连通的第一排气管路，以及设于所述第一排气管路的第一泵组和废气处理装置，其中，所述第一泵组位于所述腔室和所述废气处理装置之间；和 第二排气单元，包括用于与所述离子注入机的冷泵再生装置连通的第二排气管路，所述第二排气管路远离所述冷泵再生装置的一端用于与车间排气管道连通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人成都新紫光半导体科技有限公司，其通讯地址为：611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号