无锡釜川科技股份有限公司王学卫获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡釜川科技股份有限公司申请的专利基于硅片烘干的推移装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193790U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422408532.0，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型基于硅片烘干的推移装置是由王学卫;代聪;鱼科军设计研发完成，并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于硅片烘干的推移装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及硅片烘干技术领域，尤其涉及一种基于硅片烘干的推移装置，包括：输送轨道、第一光电传感器、第二光电传感器、第三光电传感器以及第一气缸，输送轨道用于输送花篮，第一光电传感器、第二光电传感器以及第三光电传感器均位于输送轨道的一侧，并沿着花篮的输送方向依次分布，第一光电传感器、第二光电传感器以及第三光电传感器均用于检测输送轨道相对位置处是否放置有花篮，第一气缸用于推动花篮沿着输送方向进行移动。本实用新型当待烘干的花篮放置到输送轨道时，启动第一气缸，能够推动靠近第一气缸一侧的花篮向远离第一气缸一侧的花篮进行移动，如此，能够缩短两个花篮之间的间距，能够缩小烘干箱的整体空间，同时，提高烘干的占用率，提高烘干热。
本实用新型基于硅片烘干的推移装置在权利要求书中公布了：1.一种基于硅片烘干的推移装置，其特征在于，包括： 输送轨道1，所述输送轨道1用于输送花篮2； 第一光电传感器3、第二光电传感器4以及第三光电传感器5，所述第一光电传感器3、所述第二光电传感器4以及所述第三光电传感器5均位于所述输送轨道1的一侧，并沿着所述花篮2的输送方向依次分布，所述第一光电传感器3、所述第二光电传感器4以及所述第三光电传感器5均用于检测所述输送轨道1相对位置处是否放置有所述花篮2； 第一气缸6，所述第一气缸6用于推动所述花篮2沿着输送方向进行移动。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人无锡釜川科技股份有限公司，其通讯地址为：214194 江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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