极电光能有限公司王雪戈获国家专利权
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龙图腾网获悉极电光能有限公司申请的专利一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223195105U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422413089.6,技术领域涉及:H10K71/00;该实用新型一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备是由王雪戈;杨建;冯治华设计研发完成,并于2024-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及钙钛矿电池技术领域,具体而言,涉及一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备。一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备,所述磁控溅射设备包括镀膜工艺腔室,所述镀膜工艺腔室内包含有若干个粒子溅射区,对应于各所述粒子溅射区分别设置有射频电源,且沿所述镀膜工艺腔室的入料口至出料口的方向上,以射频频率依次递减的方式排列若干所述射频电源。本实用新型中的制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备,通过在各粒子溅射区设置特定的电源频率,以实现低粒子能量轰击,高沉积率,均匀沉积的目的,既可以降低对钙钛矿膜层的损伤,提升膜层质量,又可保证生产效率。
本实用新型一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备在权利要求书中公布了:1.一种用于制备钙钛矿电池膜层的磁控溅射设备,其特征在于,所述磁控溅射设备包括镀膜工艺腔室,所述镀膜工艺腔室内包含有若干个粒子溅射区,对应于各所述粒子溅射区分别设置有射频电源,且沿所述镀膜工艺腔室的入料口至出料口的方向上,以射频频率依次递减的方式排列若干所述射频电源。
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