买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉安徽大学申请的专利基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119252752B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411366991.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法及系统是由何东阳设计研发完成，并于2024-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法及系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体器件质量检测方法技术领域，具体涉及基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法及系统，方法包括:获取表征晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据后,利用小波分解通过高频截止滤波对所述MES量测数据进行过滤处理得到包含晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据的高频特征；根据所述包含晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据的高频特征获取表征晶圆缺陷状况的MES量测数据、表征晶圆电特性的第一MES量测数据和表征晶圆电特性的第二MES量测数据；本发明通过引入小波分解和高频截止滤波技术，有效解决了数据噪声问题，不仅考虑了各项参数的绝对值，还分析了它们的相互关系和变化趋势，从而实现了对晶圆质量的全面评估。

本发明授权基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法及系统在权利要求书中公布了：1.基于数字信号分析的半导体器件质量检测方法,其特征在于,包括: 获取表征晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据后,利用小波分解通过高频截止滤波对所述MES量测数据进行过滤处理得到包含晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据的高频特征;根据所述包含晶圆电特性和缺陷状况的MES量测数据的高频特征获取表征晶圆缺陷状况的MES量测数据、表征晶圆电特性的第一MES量测数据和表征晶圆电特性的第二MES量测数据;在所述表征晶圆缺陷状况的MES量测数据中以预设时间间隔进行采样计算出每个时间间隔的晶圆缺陷值;比较每个时间间隔的所述晶圆缺陷值和预设晶圆缺陷值;根据所述表征晶圆电特性的第一MES量测数据、所述表征晶圆电特性的第二MES量测数据和每个时间间隔的所述晶圆缺陷值与所述预设晶圆缺陷值的比较结果得到晶圆电特性变化趋势;根据所述晶圆缺陷值和所述晶圆电特性变化趋势获取晶圆的电特性评估值和缺陷状况评估值;根据所述晶圆的电特性评估值和所述缺陷状况评估值对晶圆电特性和缺陷状况进行质量检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人安徽大学，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市肥西路3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。