北京奥普托科微电子技术有限公司方春钰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京奥普托科微电子技术有限公司申请的专利晶圆缺陷光学检测设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223192850U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422376051.6，技术领域涉及：G01N21/95；该实用新型晶圆缺陷光学检测设备是由方春钰;李锦程;蒋健君;李星辰;白丽园设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺陷光学检测设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种晶圆缺陷光学检测设备，包括：激光光源，用于出射具有固定波长的初始光束，初始光束沿第一路径出射；压缩棱镜阵列，包括至少一个压缩棱镜对，包括一对相互呈面间夹角的第一折射面和第二折射面；承托装置，用于承托晶圆；接收装置；其中，初始光束以垂直角度抵达第一折射面，并以面间夹角为入射角抵达第二折射面后，折射并朝向第二折射面方向改变传播路径，由晶圆反射后，入射至接收装置。本申请实施例提供的晶圆缺陷光学检测设备，初始光束抵达第一折射面而不改变光斑直径的同时，抵达第二折射面，折射并朝向第二折射面方向改变传播路径，从而实现光斑直径单维度的压缩后，再入射至晶圆并反射进入接收装置，完成缺陷检测。
本实用新型晶圆缺陷光学检测设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆缺陷光学检测设备，其特征在于，包括： 激光光源，用于出射具有固定波长的初始光束，所述初始光束沿第一路径出射； 压缩棱镜阵列，包括至少一个压缩棱镜对，设置于所述激光光源出射侧，所述压缩棱镜对包括一对相互呈面间夹角的第一折射面和第二折射面； 承托装置，用于承托晶圆； 接收装置； 其中，所述初始光束入射至所述压缩棱镜阵列，以垂直角度抵达所述第一折射面并以所述面间夹角为入射角抵达所述第二折射面后，折射并朝向所述第二折射面方向改变传播路径，出射所述压缩棱镜阵列后，由位于所述承托装置的所述晶圆远离所述承托装置一侧反射并入射至所述接收装置。
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