允哲半导体科技(浙江)有限公司叶家焱获国家专利权
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龙图腾网获悉允哲半导体科技(浙江)有限公司申请的专利一种均匀加热的晶圆台盘获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193797U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422369886.9，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种均匀加热的晶圆台盘是由叶家焱;陈志平;张伯成;胡俊谊设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种均匀加热的晶圆台盘在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种均匀加热的晶圆台盘，包括台盘主体、加热片和底座，三者固定为一体；所述加热片为三层结构，上层与下层为聚酰亚胺材质，中间均匀铺满电阻丝，电阻丝两端各接正负极。本实用新型在晶圆台面下方设置与晶圆台面差不多面积的加热片，加热片内部均铺电阻丝，电阻丝的两端从加热片一侧延伸出，形成正极接线端和负极接线端，通电后，电阻丝发热，均铺的电阻丝使得晶圆台面均匀发热，快速升温至设定温度，方便对晶圆进行贴膜或撕膜操作，加快晶圆的加工效率。
本实用新型一种均匀加热的晶圆台盘在权利要求书中公布了：1.一种均匀加热的晶圆台盘，其特征在于：包括台盘主体、加热片和底座，三者固定为一体；所述加热片为三层结构，上层与下层为聚酰亚胺材质，中间均匀铺满电阻丝，电阻丝两端各接正负极。
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