芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司李林获国家专利权
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龙图腾网获悉芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司申请的专利晶圆压环获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193800U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422369602.6，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆压环是由李林;陈强;车德民设计研发完成，并于2024-09-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆压环在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种晶圆压环，其边缘设置环形凸缘，所述环形凸缘用于接触晶圆的底侧设置有凹槽，所述凹槽沿环形凸缘的周向分布。该晶圆压环通过设置凹槽，改善了压环和晶圆之间接触部位的散热效果，又减轻了压环的整体重量，进而可减小晶圆边缘的受力，防止晶圆边缘缺角的发生，同时更好的散热，防止晶圆粘片的发生。
本实用新型晶圆压环在权利要求书中公布了：1.一种晶圆压环，其特征在于，所述晶圆压环的边缘设置环形凸缘，所述环形凸缘用于接触晶圆的底侧设置有凹槽，所述凹槽沿所述环形凸缘的周向分布。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司，其通讯地址为：312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路508号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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