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中南大学田庆华获国家专利权

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龙图腾网获悉中南大学申请的专利一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223189283U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422291161.2,技术领域涉及:C30B13/00;该实用新型一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备是由田庆华;黄柱;许志鹏;郭学益设计研发完成,并于2024-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备,包括熔炼炉组件和加热组件;通过载料舟体第一端的籽晶槽和过渡槽,在区域熔炼过程中,籽晶可以有效诱导锗以单晶形式生长,再通过籽晶的旋转,降低晶体生长过程位错及多晶晶体的生成,提高了锗单晶生长过程的稳定性,且对熔区具有一定的搅动作用,提高杂质的扩散速率,减小扩散层厚度,通过过渡段的缓冲作用,避免了锗晶体横截面的变化对晶体生长形式及温度梯度的影响;通过主加热器和辅助加热器的组合,能够形成一个稳定的温度梯度分布和保温区间,减少了外界环境变化对区域熔炼提纯过程带来的影响,维持了熔区的稳定性,也有利于晶体的稳定生长,保证了高纯锗单晶质量,维持工艺的稳定性。

本实用新型一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备在权利要求书中公布了:1.一种籽晶诱导区域熔炼提纯锗的设备,其特征在于,包括熔炼炉组件和加热组件; 所述熔炼炉组件包括石英管、设置在石英管两端的密封套件、以及对石英管进行支撑的支撑组件,所述石英管的两端通过密封套件与外界密封,所述石英管的第一端设置有进气口,第二端设置有出气口,所述进气口、所述出气口均设置有阀门,所述进气口与气路系统连接,所述石英管的第二端还设置有真空口,所述真空口与真空系统连接; 所述石英管内设置有载料舟体,所述载料舟体包括依次设置的物料槽、过渡槽和籽晶槽,所述物料槽用于放置被提纯物料,所述过渡槽的两端分别与所述物料槽、所述籽晶槽相连,所述过渡槽的横截面为圆形,且横截面面积由所述物料槽向所述籽晶槽逐渐减小,所述籽晶槽用于放置诱导籽晶,所述诱导籽晶、所述籽晶槽的横截面均为圆形,所述诱导籽晶为高纯锗单晶,所述籽晶槽与旋转机构连接,通过旋转机构驱动而旋转; 所述加热组件包括传动箱、保温层以及加热器,所述传动箱套设在石英管上,用于对所述石英管内部的所述载料舟体进行加热,所述传动箱与移动机构连接,所述保温层设置在所述传动箱的内部,所述加热器设置在所述保温层内,所产生的热量对所述石英管加热。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中南大学,其通讯地址为:410083 湖南省长沙市岳麓区麓山南路932号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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