北京晶亦精微科技股份有限公司胡兴臣获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利抛光区清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223186295U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422265357.4，技术领域涉及：B24B37/34；该实用新型抛光区清洗装置是由胡兴臣;陈尧;张宇哲;田文波设计研发完成，并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本抛光区清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种抛光区清洗装置，包括基座、旋转驱动件、供液套管、旋转头、研磨液管和清洗液管，供液套管设置于基座上方，旋转头转动连接于供液套管内，旋转驱动件连接于供液套管的外端，研磨液管和清洗液管均连接于旋转头的内端，供液套管的外周壁上设有第一进液孔和第二进液孔，旋转头上设有第一通道和第二通道，研磨液管的端部连接有第一喷头，清洗液管的周壁上设有第二喷头。本实用新型提供的抛光区清洗装置，利用第一通道向研磨液管供送研磨液，保证晶圆抛光过程的顺利进行，当抛光完成、需要清洗研磨盘时，利用第二通道向清洗液管供送清洗液，利用清洗液管的转动实现对研磨盘及外围部件的全面冲洗，提高了清洁效率和清洁质量。
本实用新型抛光区清洗装置在权利要求书中公布了：1.抛光区清洗装置，其特征在于，包括基座1、旋转驱动件2、供液套管3、旋转头4、研磨液管5和清洗液管6，所述基座1设置于研磨盘8的外侧，所述供液套管3设置于所述基座1上方，所述旋转头4转动连接于所述供液套管3内，所述旋转驱动件2连接于所述供液套管3的外端、且与所述旋转头4相连以带动所述旋转头4转动，所述研磨液管5和所述清洗液管6均连接于所述旋转头4的内端、且所述清洗液管6套设于所述研磨液管5的外周，所述供液套管3的外周壁上设有第一进液孔31和第二进液孔32，所述旋转头4上设有与所述第一进液孔31和所述研磨液管5分别连通的第一通道以及与所述第二进液孔32和所述清洗液管6分别连通的第二通道42，所述研磨液管5的端部贯穿所述清洗液管6设置、且连接有第一喷头51，所述清洗液管6的周壁上设有第二喷头61。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京晶亦精微科技股份有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由AI智能生成
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号