无锡琨圣智能装备股份有限公司邵玉林获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利硅片承载花篮获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193778U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422257553.7,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型硅片承载花篮是由邵玉林;张三洋;瞿鹏飞;石烨炜设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片承载花篮在说明书摘要公布了:本本实用新型涉及硅片承载技术领域,特别涉及硅片承载花篮,包括花篮框架主体,所述花篮框架主体内用于装载若干硅片,所述花篮框架主体上设置有第一分隔装置和第二分隔装置,所述第一分隔装置用于承载各个硅片边缘侧,所述第二分隔装置包括设置于所述花篮框架主体上的至少一组隔离件,所述隔离件沿第一方向延伸且沿第二方向排布,以用于穿过相邻两个硅片之间间隙。
本实用新型硅片承载花篮在权利要求书中公布了:1.硅片承载花篮,包括花篮框架主体(1),所述花篮框架主体(1)内用于装载若干硅片,其特征在于:所述花篮框架主体(1)上设置有第一分隔装置和第二分隔装置,所述第一分隔装置用于承载各个硅片边缘侧,所述第二分隔装置包括设置于所述花篮框架主体(1)上的至少一组隔离件(2),所述隔离件(2)沿第一方向延伸且沿第二方向排布,以用于穿过相邻两个硅片之间间隙; 所述花篮框架主体(1)上设置有至少一个安装件(3),所述隔离件(2)可拆卸设置于所述安装件(3)上; 所述安装件(3)包括两个相对设置的吸附板(301),两个所述吸附板(301)上均设置有至少一个磁性件,且两个所述吸附板(301)上设置的磁性件相对设置,以用于两个所述吸附板(301)相互吸引并连接所述隔离件(2)一端。
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