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无锡琨圣智能装备股份有限公司邵玉林获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡琨圣智能装备股份有限公司申请的专利矫正装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193791U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422268299.0,技术领域涉及:H01L21/68;该实用新型矫正装置是由邵玉林;张三洋;耿菲设计研发完成,并于2024-09-14向国家知识产权局提交的专利申请。

矫正装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及自动化工装器械技术领域,公开了一种矫正装置,包括:花篮主体,内置有容纳空间,适于容纳至少一列硅片;矫正结构,包括:矫正主体,包括矫正基板和调节组件,矫正基板适于承托硅片,调节组件与花篮主体活动连接,花篮主体适于在调节组件的作用下在限位状态和矫正状态之间转换;第一矫正分体,设置在各列硅片的侧向,其长度方向与所述硅片排列方向同向设置,以矫正硅片在第一方向上的位置,第一方向和所述硅片排列方向沿矫正基板的板面呈垂直设置。这样设置有效提高了对批量硅片的校准效果,提高精度较低,可以满足实际需要。

本实用新型矫正装置在权利要求书中公布了:1.一种矫正装置,其特征在于,包括: 花篮主体1,内置有容纳空间,适于容纳至少一列硅片2,所述花篮主体1具有限位至少一列所述硅片2的限位状态,以及松放所述硅片2的矫正状态; 矫正结构,包括: 矫正主体,包括矫正基板3和调节组件,所述矫正基板3适于承托所述硅片2,所述调节组件与所述花篮主体1活动连接,所述花篮主体1适于在所述调节组件的作用下在所述限位状态和所述矫正状态之间转换; 第一矫正分体7,设置在各列所述硅片2的侧向,其长度方向与所述硅片2排列方向同向设置,适于夹合限位同列所述硅片2,以矫正所述硅片2在第一方向上的位置,所述第一方向和所述硅片2排列方向沿所述矫正基板3的板面呈垂直设置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡琨圣智能装备股份有限公司,其通讯地址为:214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路106号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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