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龙图腾网获悉厦门市俊亦精密机械有限公司申请的专利一种硅片载板开槽装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223185998U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422179624.6，技术领域涉及：B23P23/00；该实用新型一种硅片载板开槽装置是由陈学亮设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片载板开槽装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种硅片载板开槽装置，包括底板，底板设有两间隔布置的第一丝杆，第一丝杆设有第一滑块，以及驱动第一滑块沿第一丝杆移动的第一电机，第一丝杆沿Y轴方向布置；Y方向平移支架，X方向平移支架等结构；开槽刀头，开槽刀头固设于第三滑块；加工平台，用于装夹硅片载板并通过开槽刀头对其进行铣削；冲孔钻头，冲孔钻头沿Y轴方向对硅片载板进行冲孔工作，加工平台对用于加工形成硅片载板的板料进行固定，然后通过开槽刀头加工形成由于放置硅片的凹槽，然后通过冲孔钻头对硅片载板的侧面加工形成气流孔，通过硅片载板开槽装置实现对硅片载板的自动化加工。

本实用新型一种硅片载板开槽装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片载板开槽装置，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）设有两间隔布置的第一丝杆（11），所述第一丝杆（11）设有第一滑块（12），以及驱动所述第一滑块（12）沿所述第一丝杆（11）移动的第一电机（13），所述第一丝杆（11）沿Y轴方向布置； Y方向平移支架（2），所述Y方向平移支架（2）包括两固设于所述第一滑块（12）的两立板（21）、以及连接两所述立板（21）的横板（22），所述横板（22）沿X轴方向设有第二丝杆（23），所述第二丝杆（23）设有第二滑块，所述立板（21）固设有用于驱动所述第二滑块沿所述第二丝杆（23）移动的第二电机（24）； X方向平移支架（3），所述X方向平移支架（3）包括固设于所述第二滑块的平移板（31），所述平移板（31）沿Z轴方向设有第三丝杆（32），所述第三丝杆（32）设有第三滑块（33），所述平移板（31）固设有用于驱动所述第三滑块（33）沿所述第三丝杆（32）移动的第三电机（34）； 开槽刀头（4），所述开槽刀头（4）固设于所述第三滑块（33）； 加工平台（5），所述加工平台（5）用于装夹硅片载板板料并通过所述开槽刀头（4）对其进行铣削； 冲孔钻头（6），所述冲孔钻头（6）沿Y轴方向对硅片载板板料进行冲孔工作。

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