三星显示有限公司许成旻获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利掩模质量管理系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223192298U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422150302.9,技术领域涉及:G01B11/00;该实用新型掩模质量管理系统是由许成旻;曹幸佑设计研发完成,并于2024-09-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本掩模质量管理系统在说明书摘要公布了:本申请涉及掩模质量管理系统。掩模质量管理系统包括:掩模,包括掩模框架和多个掩模片,其中,掩模片固定到掩模框架的上表面并且设置成彼此间隔开;台,掩模安置在台上;以及第一模块,设置在台上,并且配置为通过向掩模照射强光来测量掩模片从掩模框架的下垂程度。
本实用新型掩模质量管理系统在权利要求书中公布了:1.一种掩模质量管理系统,其特征在于,包括: 掩模,包括: 掩模框架;以及 多个掩模片,固定到所述掩模框架的上表面并且彼此间隔开; 台,包括所述多个掩模片的掩模安置在所述台上;以及 第一模块,设置在所述台上,并且配置为通过向所述掩模照射强光来测量所述掩模片从所述掩模框架的下垂程度。
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