盛华微纳科技(苏州)有限公司张敏获国家专利权
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龙图腾网获悉盛华微纳科技(苏州)有限公司申请的专利高速CIS探针卡获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223192999U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422108505.1,技术领域涉及:G01R1/067;该实用新型高速CIS探针卡是由张敏;彭琳杰;郭小芳;付淑娟设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本高速CIS探针卡在说明书摘要公布了:本实用新型公开了高速CIS探针卡,属于探针卡技术领域,包括基座;高速线路板设置于基座;高速基板与高速线路板和或基座连接;观察装置与高速线路板电性连接;多个高速探针环绕观察装置的至少部分外周设置;高速基板上设置有与高速探针一一对应的多个安装位,多个高速探针分别焊接于对应的安装位,且多个安装位均与高速线路板电性连接。根据本实用新型设计的探针卡,减小了高速探针与高速线路板之间的阻抗,从而减小了高速线路板与高速探针之间的信号衰减,提高了高速探针与高速线路板之间的信号传递效率以及质量,从而使得本申请的探针卡能够实现高速、高精度的测试,提高了晶圆的测试效率。
本实用新型高速CIS探针卡在权利要求书中公布了:1.一种高速CIS探针卡,其特征在于,包括: 基座(10); 高速线路板(20),所述高速线路板(20)设置于所述基座(10)在厚度方向上的一侧; 高速基板(30),所述高速基板(30)与所述高速线路板(20)和或基座(10)连接; 观察装置(40),所述观察装置(40)与所述高速线路板(20)电性连接; 高速探针(50),所述高速探针(50)为多个,多个所述高速探针(50)环绕所述观察装置(40)的至少部分外周设置;其中 所述高速基板(30)上设置有与高速探针(50)一一对应的多个安装位,多个所述高速探针(50)分别焊接于对应的所述安装位,且多个所述安装位均与所述高速线路板(20)电性连接,所述观察装置(40)适于接收多个高速探针(50)的自由端的影像。
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