盛华微纳科技(苏州)有限公司张敏获国家专利权
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龙图腾网获悉盛华微纳科技(苏州)有限公司申请的专利MEMS探针卡组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193000U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422108510.2，技术领域涉及：G01R1/067；该实用新型MEMS探针卡组件是由张敏;彭琳杰;郭小芳设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS探针卡组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了MEMS探针卡组件，属于探针卡技术领域，探针卡组件包括机架；调节片构造为多个，多个调节片分别可移动地与机架连接，多个调节片分别可选择地在高度方向上相对机架移动；探针组与调节片连接。根据本实用新型设计的探针卡组件，每个调节片移动以调节对应的探针组在高度方向上的位置，使得多个探针组可以与晶圆上的多个芯片同时接触，从而实现一次性完成对整个晶圆的测试，提高了晶圆的测试效率，减少了晶圆的测试时间和人力成本，降低了晶圆的整体测试成本。
本实用新型MEMS探针卡组件在权利要求书中公布了：1.一种MEMS探针卡组件，其特征在于，包括： 机架（10）； 调节片（20），所述调节片（20）构造为多个，多个所述调节片（20）分别可移动地与所述机架（10）连接，多个所述调节片（20）分别可选择地在高度方向上相对机架（10）移动； 探针组（30），所述探针组（30）与所述调节片（20）连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人盛华微纳科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区唯亭亭东路55号厂房4号楼5楼西侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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