苏州康普雷森精密机械有限公司任文斌获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州康普雷森精密机械有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223189248U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422097011.8，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板是由任文斌;代绍明设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板，包括冷却背板本体，冷却背板本体的顶部固定连接有靶板本体，冷却背板本体的顶部设置有锁定组件，锁定组件用于锁定靶板本体，冷却背板本体的内部开设有冷却槽。本实用新型通过锁定组件将靶板本体牢固地锁定在冷却背板本体的顶部，使得靶板本体的温度更有效率的传导至冷却背板本体上，在靶板本体进行溅射工作时，储水箱内部的水泵通过供水管将冷却水输送到循环冷却管的内部，升温的冷却水随后通过回水管回流至储水箱，从而对靶板本体进行有效的降温冷却，进而提高了冷却背板的冷却效果，延长了靶板的使用期限，并进一步提升了磁控溅射镀膜的效率和质量。
本实用新型一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜设备的靶材冷却背板，包括冷却背板本体1，其特征在于：所述冷却背板本体1的顶部固定连接有靶板本体2，所述冷却背板本体1的顶部设置有锁定组件，所述锁定组件用于锁定靶板本体2，所述冷却背板本体1的内部开设有冷却槽11，所述冷却槽11的内壁之间固定连接有循环冷却管12，所述冷却背板本体1的底部固定连接有储水箱5，所述储水箱5的一侧开设有进水口6，所述进水口6与储水箱5的内部贯通。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人苏州康普雷森精密机械有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市相城区望亭镇迎湖村迎湖村路15号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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