杭州海乾半导体有限公司徐悦璐获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州海乾半导体有限公司申请的专利一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193758U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422097896.1,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具是由徐悦璐;梁土钦;林云昊设计研发完成,并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具,包括测试台,测试台上设有外环,外环内设有内环,外环和内环上均设有定位边,外环边缘设有固定翻边,采用本实用新型的碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具,结构简单,简化操作步骤,提高测试点位精度。
本实用新型一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具在权利要求书中公布了:1.一种碳化硅外延片载流子浓度测试台晶圆片夹具,其特征在于:包括测试台1,所述测试台1上设有外环2,所述外环2内设有内环3,所述外环2和内环3上均设有定位边5,所述外环2边缘设有固定翻边4;所述外环2内径与内环3外径相等,所述内环3卡接在外环2上,所述固定翻边4与测试台1端部卡接。
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