浙江老鹰半导体技术有限公司谷泓毅获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江老鹰半导体技术有限公司申请的专利晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193774U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422092099.4，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统是由谷泓毅;陈顺利;赵波;张笑笑设计研发完成，并于2024-08-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统在说明书摘要公布了：一种晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统，涉及半导体制造技术领域，其中，晶圆载具包括载具本体，载具本体具有第一端面和第二端面，且第一端面和第二端面相对。第一端面开设有放置槽，该放置槽与晶圆轮廓相适配，用于承载晶圆；第二端面开设有凹槽，该凹槽适于对接外部设备上的静电吸盘，且载具本体于凹槽周侧形成有传送区，适于供输送手臂承托并输送载具本体。载具本体上开设有若干吸附孔，吸附孔连通放置槽和凹槽，适于供静电吸盘吸附放置槽内晶圆。本申请通过设置晶圆载具来承载晶圆，能够避免输送手臂直接对减薄后的晶圆进行输送，破片风险小。
本实用新型晶圆载具、晶圆输送装置及晶圆输送系统在权利要求书中公布了：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括： 载具本体，具有第一端面和第二端面，所述第一端面和所述第二端面相对； 所述第一端面开设有放置槽，所述放置槽与晶圆轮廓相适配，用于承载晶圆；所述第二端面开设有凹槽，所述凹槽适于对接外部设备上的静电吸盘，且所述载具本体于所述凹槽周侧形成有传送区，适于供输送手臂承托并输送所述载具本体；及， 所述载具本体上开设有若干吸附孔，所述吸附孔连通所述放置槽和所述凹槽，适于供静电吸盘吸附所述放置槽内晶圆。
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