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日月新半导体(苏州)有限公司张辰鑫获国家专利权

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龙图腾网获悉日月新半导体(苏州)有限公司申请的专利一种晶圆扩膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223193762U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421999405.6,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆扩膜装置是由张辰鑫设计研发完成,并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆扩膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶圆加工生产设备技术领域,公开了一种晶圆扩膜装置,包括底座、操作台、连接板,所述操作台上固定安装有送料电机,所述传动杆上固定连接有主动齿轮,所述主动齿轮啮合连接有从动齿轮,所述从动齿轮上固定连接有送料辊轴,所述操作台上转动连接有输料轴,所述输料轴上固定连接有从动皮带轮,所述输料轴上固定连接有输料辊筒。本实用新型中,在使用该晶圆扩膜装置时,启动送料电机,从而将输料辊筒上的蓝膜从出料口输送出来并覆盖在晶圆上,不需要人工手动送料,减少了工作人员被设备误夹伤的安全隐患,启动电动推杆,圆形凸起会对蓝膜施加向上的作用力,以使蓝膜进行扩张,实现扩膜,操作方便,提高了工作效率。

本实用新型一种晶圆扩膜装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆扩膜装置,包括底座1、操作台2、连接板20,其特征在于:所述操作台2上固定安装有送料电机3,所述送料电机3的输出端固定连接有传动杆4,所述传动杆4上固定连接有主动齿轮5,所述主动齿轮5啮合连接有从动齿轮6,所述从动齿轮6上固定连接有送料辊轴7,所述送料辊轴7上固定连接有主动皮带轮8,所述操作台2上转动连接有输料轴11,所述输料轴11上固定连接有从动皮带轮10,所述主动皮带轮8与从动皮带轮10上连接有传动带9,所述传动杆4上固定连接有送料辊筒12,所述输料轴11上固定连接有输料辊筒14,所述操作台2上固定连接有储存箱13,所述储存箱13上开设有出料口15。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人日月新半导体(苏州)有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区苏虹西路188号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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