上海新阳半导体材料股份有限公司王振荣获国家专利权
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龙图腾网获悉上海新阳半导体材料股份有限公司申请的专利温度控制装置及晶圆清洗设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193763U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422009428.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型温度控制装置及晶圆清洗设备是由王振荣;刘红兵设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本温度控制装置及晶圆清洗设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种温度控制装置及晶圆清洗设备，晶圆清洗设备包括清洗槽、连接管路和的温度控制装置，温度控制装置与清洗槽之间通过连接管路连通，连接管路用于在温度控制装置和清洗槽之间建立供清洗媒介流通的循环通路，通过循环通路实现清洗媒介的实时加热和控温。温度控制装置包括壳体和温度控制单元，温度控制单元设置于壳体，壳体具有容腔，容腔用于容纳清洗媒介，在容腔内设置制冷单元和制热单元，温度控制单元根据接收到的温度信号控制制冷单元或者制热单元启动给清洗媒介制冷或者制热。本实用新型的技术方案能够实现清洗槽中清洗液的实时在线控温，以便更好、更有效地对晶圆进行清洗。
本实用新型温度控制装置及晶圆清洗设备在权利要求书中公布了：1.一种温度控制装置，其特征在于，包括壳体和温度控制单元，所述温度控制单元设置于所述壳体，所述壳体具有容腔，所述容腔用于容纳清洗媒介，在所述容腔内设置制冷单元和制热单元，所述温度控制单元根据接收到的温度信号控制所述制冷单元或者所述制热单元启动给所述清洗媒介制冷或者制热。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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