重庆芯联微电子有限公司池国维获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆芯联微电子有限公司申请的专利流体循环系统及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223193761U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421900148.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型流体循环系统及半导体设备是由池国维设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本流体循环系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供了一种流体循环系统及半导体设备，流体循环系统包括存储单元、工作单元、第一温控单元和第一温度检测单元；所述存储单元的出口与所述工作单元的入口通过输送管相连，所述第一温度检测单元设置于所述工作单元的入口，所述第一温控单元设置于所述输送管并位于靠近所述工作单元的入口的位置处。如此配置，上述流体循环系统有助于在工作单元的入口位置处微调输送介质的温度，以改善输送路径过长运对输送介质温度的影响，有助于提高输送至工作单元内的输送介质的温度稳定性，以提高制造工艺的质量的一致性。
本实用新型流体循环系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种流体循环系统，其特征在于，包括：存储单元、工作单元、第一温控单元和第一温度检测单元； 所述存储单元的出口与所述工作单元的入口通过输送管相连，所述第一温度检测单元设置于所述工作单元的入口，所述第一温控单元设置于所述输送管并位于靠近所述工作单元的入口的位置处。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人重庆芯联微电子有限公司，其通讯地址为：401332 重庆市沙坪坝区高新区西永街道西永大道28-2号SOHO楼601-A153；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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