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龙图腾网获悉湘南学院申请的专利一种晶圆的单加工路径的调度方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118983249B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411060489.1，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种晶圆的单加工路径的调度方法是由彭乘风;廖勇;李翔;廖芳芳;林安平;邝俊泽;吴江深设计研发完成，并于2024-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆的单加工路径的调度方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆的单加工路径的调度方法，属于半导体芯片制造技术领域，包括以下步骤：构建ROPN模型；建立主机械手死锁处理的约束条件，利用ROPN模型并根据主机械手死锁处理的约束条件建立针对主机械手的工艺生产区调度算法；建立取放机械手死锁处理的约束条件，利用ROPN模型并根据取放机械手死锁处理的约束条件建立针对取放机械手的晶圆派工策略；利用ROPN模型并根据取放机械手死锁处理的约束条件建立针对取放机械手的晶圆投料策略。所述晶圆的单加工路径的调度方法解决了现有的调度策略难以保证整体作业的协调性的问题。

本发明授权一种晶圆的单加工路径的调度方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆的单加工路径的调度方法，其特征在于，包括以下步骤： S0：利用检验台、存储位、旋转台、合并站、取放机械手R1、取放机械手R2、加工站、主机械手R3、副机械手r和清洗站构建ROPN模型； S1：建立主机械手死锁处理的约束条件，利用ROPN模型并根据主机械手死锁处理的约束条件建立针对主机械手的工艺生产区调度算法； S2：建立取放机械手死锁处理的约束条件，利用ROPN模型并根据取放机械手死锁处理的约束条件建立针对取放机械手的晶圆派工策略； S3：利用ROPN模型并根据取放机械手死锁处理的约束条件建立针对取放机械手的晶圆投料策略； 在所述步骤S0中，利用库所、变迁、由变迁指向库所的有向弧、由库所指向变迁的有向弧、库所的令牌数量标识和库所能容纳的最大令牌数量构建ROPN模型的有向图； 其中，将检验台、存储位、旋转台、合并站、取放机械手R1、取放机械手R2、加工站、主机械手R3、副机械手r、清洗站和各机械手动作前的等待时间都属于ROPN模型中的库所P，变迁为检验台、存储位、旋转台、合并站、取放机械手R1、取放机械手R2、加工站、主机械手R3、副机械手r和清洗站的执行动作； 加工站之间的关系划分为紧邻加工站Pi-1和Pi的关系和非紧邻加工站PN+j的关系，其中i＝2，4，...，2N，N∈N*，共N台紧邻加工站，j＝1，2，...，D，D∈N*，共D台非紧邻加工站； 在所述步骤S1中，主机械手死锁处理的约束条件包括： 对于非紧邻加工站PN+j，j＝1，2，...，D，D∈N*，总数D，N*为正整数建立： 条件1-1：在MPN+j+1＝mN+j+1-1时，变迁XN+j设置为可触发状态；其中M表示库所的令牌数量标识，PN+j+1表示第N+j+1个非紧邻加工站，mN+j+1表示第N+j+1道工序步骤的并行加工站的数量，变迁XN+j表示主机械手R3转动到工序步骤N+j； 条件1-2：在MPN+j＝mN+j且MPh＝2，MPt＝MR2＝1时，变迁XN+M设置为可触发状态；其中PN+j表示第N+j个非紧邻加工站，mN+j表示第N+j道工序步骤的并行加工站的数量，Ph表示合并站，Pt表示旋转台，表示取放机械手R2，XN+D表示主机械手R3转动到工序步骤N+D； 对于紧邻加工站Pi-1和Pi，i＝2，4，...，2N，N∈N*，总数为N，在非重入晶圆流下，建立： 条件2-1：在2≤i≤N-2，且当MPi+1＝mi+1-1或MPi+2＝mi+2-1或Mri+1＝1时，变迁Xi设置为可触发状态；其中Pi+1表示第i+1个紧邻加工站，mi+1表示第i+1道工序步骤的并行加工站的数量，mi+2表示第i+2道工序步骤的并行加工站的数量，ri+1表示第i+1个副机械手，变迁Xi表示主机械手R3转动到工序步骤i； 条件2-2：当MP1＝m1-1或MP2＝m2-1或Mr1＝1时，变迁X0设置为可触发状态；其中P1表示第1个紧邻加工站，m1表示第1道工序步骤的并行加工站的数量，P2表示第2个紧邻加工站，m2表示第2道工序步骤的并行加工站的数量，r1表示第1个副机械手，变迁X0表示主机械手R3转动到合并站； 条件2-3：当MPi＝mi时，变迁XN设置为可触发状态；其中Pi表示第i个紧邻加工站，mi表示第i道工序步骤的并行加工站的数量，变迁XN表示主机械手R3转动到工序步骤N； 重入晶圆流用mi-1,mik表示，k为重入数值，且2≤i≤N-2；用Waq表示第a个进入系统的晶圆，并完成重入工序的最后一个加工步骤mi，并代表晶圆完成了q次重入，在重入晶圆流下，建立： 条件2-4：在1≤qk，且当MPi-1＝mi-1-1或Mri-1＝1时，变迁tii-1以及变迁Xi均设置为可触发状态；其中Pi-1表示第i-1个紧邻加工站，mi-1表示第i-1道工序步骤的并行加工站的数量，ri-1表示第i-1个副机械手，变迁tii-1表示主机械手R3从工序步骤i移动到工序步骤i-1，变迁Xi表示主机械手R3转动到工序步骤i； 条件2-5：在2≤i≤N-2，且当系统标识MPi+1＝mi+1-1或MPi+2＝mi+2-1或Mri+1＝1时，变迁ti-2i-1以及变迁Xi-2设置为可触发状态；其中变迁ti-2i-1表示主机械手R3从工序步骤i-2移动到工序步骤i-1，变迁Xi-2表示主机械手R3转动到工序步骤i-2； 条件2-6：当q＝k时，变迁tii+1以及变迁Xi设置为可触发状态；其中变迁tii+1表示主机械手R3从工序步骤i移动到工序步骤i+1，变迁Xi表示主机械手R3转动到工序步骤i。

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