深圳市博能自动化设备有限公司杨炬灿获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市博能自动化设备有限公司申请的专利一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223189247U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421712758.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极是由杨炬灿;黄金伟;江涛;张建国;边明前;彭建林设计研发完成，并于2024-07-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空镀膜磁控溅射非平衡式平面阴极的技术领域，尤其是涉及一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极。本实用新型提供的磁场发生装置包括：磁靴底板、隔块、第一磁极、第二磁极和调磁组件；隔块、第一磁极和第二磁极均设置于磁靴底板上，隔块位于第一磁极与第二磁极之间；第一磁极与第二磁极的极性相反，且第一磁极的磁场强度与第二磁极的磁场强度不同；调磁组件用于调节靶面水平方向磁场强度，且调磁组件设置于隔块与第一磁极之间，和或，调磁组件设置于隔块与第二磁极之间，能够使靶面水平方向磁场强度的最值减小，使磁场强度波动较为平缓，提高了镀膜均匀性以及靶材的利用率，进而提高镀膜质量。
本实用新型一种磁场发生装置及非平衡式平面阴极在权利要求书中公布了：1.一种磁场发生装置，用于非平衡式平面阴极，所述非平衡式平面阴极具有靶面，其特征在于，所述磁场发生装置6包括：磁靴底板14、隔块11、第一磁极、第二磁极和调磁组件； 所述磁靴底板14具有相对的第一侧和第二侧，所述隔块11、所述第一磁极和所述第二磁极均设置于所述磁靴底板14上，且均位于所述第一侧，所述隔块11位于所述第一磁极与所述第二磁极之间； 所述第一磁极与所述第二磁极的极性相反，且所述第一磁极的磁场强度与所述第二磁极的磁场强度不同； 所述调磁组件用于调节靶面水平方向磁场强度，且所述调磁组件设置于所述隔块11与所述第一磁极之间，和或，所述调磁组件设置于所述隔块11与所述第二磁极之间。
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