杭州超然金刚石有限公司余斌获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州超然金刚石有限公司申请的专利一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118639322B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410885794.8,技术领域涉及:C30B25/00;该发明授权一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法是由余斌;余海粟;朱轶方;李陈陈设计研发完成,并于2024-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种单晶金刚石横向生长辅助装置,涉及金刚石生产技术领域。包括:等离子反应腔,用于产生等离子体球;基台腔,与所述等离子反应腔相连通;基台腔内设置有基台,基台腔的内壁于第一高度设置有柔性薄膜,所述柔性薄膜的中部密封连接有一安装环,安装环与基台可拆卸连接;安装环与基台连接时,所述柔性薄膜、安装环、基台将基台腔分隔成上下两部分;三轴驱动机构,用于驱动所述基台运动;以实现基台相对背离安装环运动和基台与等离子体球的横向运动。本发明在金刚石生长过程中,使得衬底材料可相对等离子体球横向运动,形成金刚石材料沿横向生长的效果。
本发明授权一种单晶金刚石横向生长辅助装置及其工作方法在权利要求书中公布了:1.一种单晶金刚石横向生长辅助装置,其特征在于,包括: 等离子反应腔,用于与微波系统连接,以产生等离子体球; 基台腔,设置于所述等离子反应腔底部,且与所述等离子反应腔相连通;所述基台腔内设置有基台,基台腔的内壁于第一高度设置有柔性薄膜,所述柔性薄膜的中部密封连接有一安装环,所述安装环与基台可拆卸连接;所述安装环与基台连接时,所述柔性薄膜、安装环、基台将基台腔分隔成上下两部分; 三轴驱动机构,用于驱动所述基台运动;所述三轴驱动机构驱动基台升降,以实现基台相对背离安装环运动,所述三轴驱动机构驱动基台在水平面运动,以实现基台与等离子体球的横向运动; 所述安装环与基台之间为螺纹配合; 所述三轴驱动机构包括: 第一滑轨,沿水平方向且固定连接于基台腔的一侧,所述第一滑轨上滑动配合有第一滑块; 第二滑轨,沿水平方向设置且与所述第一滑块固定连接,所述第二滑轨上滑动配合有第二滑块; 伸缩缸,沿竖直方向设置且与所述第二滑块固定连接,伸缩缸的伸缩端与所述基台连接; 所述基台的底部设置有滑套,所述滑套与伸缩缸的伸缩端沿竖直方向滑动配合,所述伸缩缸的伸缩端内设置有电机,所述电机的输出端固定连接有连接片,所述滑套内设置有与所述连接片沿竖直方向滑动配合且在水平方向限位的滑动槽;当电机工作时,所述基台随连接片转动且基台可相对伸缩端沿竖直方向滑动; 所述基台腔内位于低于第一高度的第二高度处设置用于放置安装环的安装台,所述安装台和安装环相贴合处,其中之一周向设置有限位条,另外之一设置有相应的限位槽,以防止安装环相对安装台转动。
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