华虹半导体(无锡)有限公司刘得卫获国家专利权
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龙图腾网获悉华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223185041U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421504568.2，技术领域涉及：B08B1/16；该实用新型一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件是由刘得卫;杨健;陆锡坚设计研发完成，并于2024-06-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件，包括与驱动部件连接的连接杆以及与连接杆的底端连接的刮头，刮头用于刮除制程气体处理腔室内壁和或温度传感器表面的粉尘；所述刮头沿其长度方向设置有加强筋，所述加强筋处的最大厚度为所述刮刀厚度的2‑4倍。本实用新型提供了一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件，其刮头的顶刮部设置有加强筋，且加强筋至少需要在温度传感器刮槽位置处设置以增加该位置处的强度，并通过限定加强筋的第一斜面与刮头侧壁之间的夹角，使其加强效果更好，使用寿命提升50％‑75％，且使用过程中刮头不易变形或断裂，更有利于刮除清洁，寿命提升后，设备维护的间隔周期时间更长，节省了人力成本。
本实用新型一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件在权利要求书中公布了：1.一种制程气体处理腔室用粉尘刮刀组件，其特征在于，包括： 连接杆，其顶端与驱动部件连接； 刮头，其安装于所述连接杆的底端以用于刮除制程气体处理腔室内壁和或温度传感器表面的粉尘； 所述刮头沿其长度方向设置有加强筋，所述加强筋处的最大厚度为所述刮刀厚度的2-4倍； 所述加强筋包括第一斜面，所述第一斜面与所述刮头的侧壁夹角θ1为30°-60°。
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