无锡佳同科技有限公司李健获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡佳同科技有限公司申请的专利一种用于半导体检测的晶圆承托装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223192965U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421481690.2,技术领域涉及:G01R1/04;该实用新型一种用于半导体检测的晶圆承托装置是由李健设计研发完成,并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体检测的晶圆承托装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种用于半导体检测的晶圆承托装置,属于晶圆承托装置技术领域,包括支撑板,支撑板上开有圆槽口,圆槽口中固定有圆板且其侧壁开有两个直槽口,圆板上均匀分布有若干根夹杆,若干根夹杆一端均固定有转杆,转杆底端固定有第一传动轮,圆板底端圆心通过第一转轴连接有第二传动轮并设有驱动机构;支撑板上连接有两根圆杆且其底端固定有承载板,圆杆一端固定有第二转轴,另一端固定有齿轮,第二转轴侧面通过圆管连接有移动杆,移动杆另一端设有压紧机构;承载板上通过液压缸连接有直杆,直杆一侧两端均通过连杆固定有活动杆,活动杆内侧固定若干根齿条;使用该装置,固定效果较好且满足不同尺寸晶圆的夹持需要,满足了企业多样化需求。
本实用新型一种用于半导体检测的晶圆承托装置在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体检测的晶圆承托装置,包括支撑板(1),其特征在于,所述支撑板(1)上开有圆槽口(2),所述圆槽口(2)中固定有圆板(3)且其侧壁开有两个位置相对设置的直槽口(4),所述圆板(3)上均匀分布有若干根夹杆(5),若干根所述夹杆(5)一端均固定有转杆(6),若干根所述转杆(6)均与所述圆板(3)活动连接且其底端均固定有第一传动轮(7),所述圆板(3)底端圆心通过第一转轴(8)活动连接有第二传动轮(9)并设有驱动机构;所述第二传动轮(9)与若干个所述第一传动轮(7)通过传送带(10)连接; 所述支撑板(1)上活动连接有两根圆杆(12)且其底端固定有承载板(16),两根所述圆杆(12)一端分别位于两个所述直槽口(4)中并固定有第二转轴(13),另一端位于所述支撑板(1)底端并固定有齿轮(14),所述第二转轴(13)侧面固定有圆管(28),所述圆管(28)侧面固定有移动杆(15),所述移动杆(15)另一端设有压紧机构;所述承载板(16)上安装有液压缸(17),其活塞杆连接有直杆(18),所述直杆(18)一侧两端均通过连杆(19)固定有活动杆(20),两个所述活动杆(20)分别位于两个所述齿轮(14)外侧且其靠近所述齿轮(14)的一侧均固定有若干根与其啮合传动的齿条(21)。
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