广东工业大学张丹获国家专利权
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龙图腾网获悉广东工业大学申请的专利一种带隙可调的三元合金LuxIn1-xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117535621B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311496617.2，技术领域涉及：C23C14/08；该发明授权一种带隙可调的三元合金LuxIn1-xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用是由张丹;梁家荣;李伟森;蔡寒设计研发完成，并于2023-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种带隙可调的三元合金LuxIn1-xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用在说明书摘要公布了：本发明公开了一种带隙可调的三元合金LuxIn1‑xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用。一种带隙可调的三元合金LuxIn1‑xO材料的制备方法，采用磁控溅射的方法制备三元合金LuxIn1‑xO材料，选择氧化铟靶材和氧化镥靶材；所述氧化铟靶材的溅射功率为25‑35W，氧化镥靶材的溅射功率为30‑150W；将Ar以及O2引入设备腔体，室温条件下，在基底上得到LuxIn1‑xO，其中0x1。本发明采用磁控共溅射的方法将Lu原子引入In2O3的晶格，实现LuxIn1‑xO0x1三元合金的带隙在日盲紫外区域的展宽。通过调节氧化镥靶材的溅射功率，可以实现LuxIn1‑xO三元合金薄膜的带隙在3.85到5.2eV范围的连续可调。基于带隙宽度～5.2eV的Lu0.39In0.61O薄膜所构建的PtLu0.39In0.61OGaN异质结器件，展现了稳定及可靠地日盲紫外探测性能。
本发明授权一种带隙可调的三元合金LuxIn1-xO材料的制备及其日盲紫外探测器的应用在权利要求书中公布了：1.一种带隙可调的三元合金LuxIn1-xO材料的制备方法，其特征在于，采用磁控溅射的方法制备三元合金LuxIn1-xO材料，选择氧化铟靶材和氧化镥靶材；所述氧化铟靶材的溅射功率为25-35W，氧化镥靶材的溅射功率为30-150W；将Ar以及O2引入设备腔体，室温条件下，在基底上得到LuxIn1-xO，其中0x1。
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