中国科学院上海微系统与信息技术研究所王金玉获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请的专利发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116577073B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310625211.3,技术领域涉及:G01M11/02;该发明授权发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法是由王金玉;蔡艳;岳文成设计研发完成,并于2023-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法,所述测量系统包括:进光耦合器、光分束器、第一出光耦合器及第二出光耦合器;其中,进光耦合器用于接收入射光束;光分束器与所述进光耦合器连接,并具有第一分光端及第二分光端,并且第一分光端与发射光栅连接,第一出光耦合器与发射光栅连接,将经发射光栅衰减后的第一分光光束出射为第一出射光束;第二出光耦合器与第二分光端连接,出射第二出射光束。本发明提供的发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法能够解决因工艺误差导致制备得到的发射光栅的有效发射长度与仿真设计得到的光栅长度不符,不能得到准确的发射光栅有效发射长度的问题。
本发明授权发射光栅有效发射长度的测量系统及测量方法在权利要求书中公布了:1.一种发射光栅有效发射长度的测量系统,与发射光栅连接,用于测量所述发射光栅的有效发射长度,其特征在于,所述发射光栅有效发射长度测量系统包括:进光耦合器、光分束器、第一出光耦合器及第二出光耦合器;其中, 所述进光耦合器用于接收入射光束; 所述光分束器,与所述进光耦合器连接,并具有第一分光端及第二分光端,用于将所述入射光束分束成第一分光光束及第二分光光束,所述第一分光光束与所述第二分光光束具有固定的光功率比例,并且,所述发射光栅与所述第一分光端连接; 所述第一出光耦合器与所述发射光栅连接,用于将经所述发射光栅衰减后的所述第一分光光束出射为第一出射光束; 所述第二出光耦合器与所述第二分光端连接,用于将所述第二分光光束出射为第二出射光束。
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