武汉烽火锐拓科技有限公司周涛获国家专利权
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龙图腾网获悉武汉烽火锐拓科技有限公司申请的专利获取VAD引杆偏移趋势的方法、沉积方法及沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116693183B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310616377.9，技术领域涉及：C03B37/018；该发明授权获取VAD引杆偏移趋势的方法、沉积方法及沉积设备是由周涛;余志强;田锦成;刘志坚设计研发完成，并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本获取VAD引杆偏移趋势的方法、沉积方法及沉积设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种获取VAD引杆偏移趋势的方法、沉积方法及沉积设备，其包括：沿Z方向，驱使引杆从起始位置朝终点位置移动；在起始位置与终点位置之间的多个设定位置处，测量引杆在X方向和Y方向上的偏移量；基于设定位置、生长速率、X方向上的偏移量和Y方向上的偏移量，获得引杆的X方向偏移速度关于生长时间的映射关系和Y方向偏移速度关于生长时间的映射关系。本申请可以解决相关技术中的方法只能检测引杆的偏差范围，不能检测出引杆偏移的变化趋势的问题。
本发明授权获取VAD引杆偏移趋势的方法、沉积方法及沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种获取VAD引杆偏移趋势的方法，其特征在于，其包括： 沿Z方向，驱使引杆从起始位置朝终点位置移动； 在起始位置与终点位置之间的多个设定位置处，测量引杆在X方向和Y方向上的偏移量； 基于设定位置、生长速率、X方向上的偏移量和Y方向上的偏移量，获得引杆的X方向偏移速度关于生长时间的映射关系和Y方向偏移速度关于生长时间的映射关系。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人武汉烽火锐拓科技有限公司，其通讯地址为：430000 湖北省武汉市化学工业区北湖产业园；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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