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龙图腾网获悉东南大学申请的专利一种MEMS热式流量传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116448193B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310434700.0，技术领域涉及：G01F1/684；该发明授权一种MEMS热式流量传感器及其制备方法是由张志强;顾闰淇设计研发完成，并于2023-04-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS热式流量传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种MEMS热式流量传感器。通过在衬底的内部做纵向贯穿衬底的两个流道，在流道中央分别做两个环形电阻环绕流道，流道的两端分别围绕有环形热电堆测量上下游温度。工作时，由于流道上下表面的热电堆关于环形电阻呈对称分布，输出电压相同。流体经过时，改变了热场的对称分布，引起流道上下表面热电堆的输出电压改变，从而可以测量出垂直于衬底方向流过的流体的流量与方向。此外，传感器具有多种工作模式：两个环形电阻可以单独工作，也可以串联工作。对应地，环形热电堆的输出电压既可以单独测量也可以串联后进行测量，实现了单一流道内流体的测量与双流道内流体的同时测量。

本发明授权一种MEMS热式流量传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS热式流量传感器，其特征在于：包括第三衬底（3），所述第三衬底（3）包括第一衬底（1）和第二衬底（2），且所述第一衬底（1）和所述第二衬底（2）硅硅键合； 所述第三衬底（3）包括：第一流道（6）与第二流道（7）、第一环形电阻（4）与第二环形电阻（5）、所述第一流道（6）与第二流道（7）纵向贯穿所述第三衬底（3），第一环形热电堆（10）、第二环形热电堆（11）、第三环形热电堆（12）、第四环形热电堆（13）； 所述第一流道（6）与所述第二流道（7）对称分布在所述第三衬底（3）的左右两侧，所述第一环形电阻（4）环绕所述第一流道（6），所述第二环形电阻（5）环绕所述第二流道（7），所述第一环形电阻（4）与所述第二环形电阻（5）均通过半导体连接线（18）连接到第一压焊块（171）； 所述第一流道（6）与所述第二流道（7）在所述第三衬底（3）上表面的开孔处分别环绕有所述第一环形热电堆（10）与所述第二环形热电堆（11），所述第一环形热电堆（10）与所述第二环形热电堆（11）均通过金属连接线（19）连接到第二压焊块（172）； 所述第一流道（6）与所述第二流道（7）在所述第三衬底（3）下表面的开孔处分别环绕有所述第三环形热电堆（12）与所述第四环形热电堆（13），所述第三环形热电堆（12）与所述第四环形热电堆（13）通过金属连接线（19）连接到第三压焊块（173）； 所述第一环形热电堆（10）、第二环形热电堆（11）、第三环形热电堆（12）、第四环形热电堆（13）均包括多个串联的热电偶（14），多个所述热电偶（14）均包括半导体臂（15）与金属臂（16），且所述半导体臂（15）与所述金属臂（16）间设有成分为氮化硅的热电材料绝缘层（20）。

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