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天津大学仇巍获国家专利权

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龙图腾网获悉天津大学申请的专利应力测量装置及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116380797B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310406163.9,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权应力测量装置及方法是由仇巍;何全燕;王苗菁;杜义涛;张蓝心;屈川;富东慧设计研发完成,并于2023-04-17向国家知识产权局提交的专利申请。

应力测量装置及方法在说明书摘要公布了:本发明提供了一种应力测量装置及方法,涉及应力测量的技术领域,本方案基于光弹性原理设计反射与透射联用光路,反射光路可以采用相移法获得柔性基底层的偏振特性,结合已知柔性基底层的偏振特性,透射光路可以采用多步相移拟合法获得无机半导体层的偏振特性,进而经过去包裹技术、应力分离技术分别确定柔性基底层和无机半导体层的全场正应力、切应力,可实时显示全场应力分布图像。

本发明授权应力测量装置及方法在权利要求书中公布了:1.一种应力测量装置,其特征在于,包括: 光源组件,所述光源组件能够产生可见光束和近红外光光束,且所述可见光束和所述近红外光光束同轴;所述光源组件在任一时间下可选择的发出可见光束或近红外光光束; 位于所述光源组件光路上的切换装置6,所述切换装置6包括消偏振分光镜和反射镜;所述切换装置6上具有工作位置,所述消偏振分光镜和反射镜二者中的一者可选择的安装于所述工作位置; 分别位于所述切换装置6两侧的第一光束采集装置8和第二光束采集装置9,所述第一光束采集装置8用于检测射入其内部的光束的光强信息IR,所述第二光束采集装置9用于检测射入其内部的光束的光强信息IT;且所述切换装置6、第一光束采集装置8和第二光束采集装置9的光轴在同一直线上; 位于所述切换装置6和第二光束采集装置9之间的载物组件,所述载物组件用于固定待测样品7,且被固定的待测样品7的柔性基底层71靠近所述切换装置6,所述待测样品7的无机半导体层72靠近第二光束采集装置9; 分别与第一光束采集装置8和第二光束采集装置9连接的数据处理器10; 所述应力测量装置具有第一工作模式和第二工作模式; 在所述第一工作模式下:所述光源组件产生可见光束;所述切换装置6的工作位置安装有消偏振分光镜;所述消偏振分光镜将光源组件产生的可见光束反射向待测样品7,且所述消偏振分光镜将从所述待测样品7上反射回来的反射光透射并使其进入到第一光束采集装置8,从而获得光强信息IR; 在所述第二工作模式下:所述光源组件产生近红外光光束;所述切换装置6的工作位置安装有反射镜;所述反射镜将光源组件产生的近红外光光束反射向待测样品7,所述第二光束采集装置9接收从所述待测样品7上透射而出的近红外光光束,从而获得光强信息IT; 所述数据处理器10接收光强信息IR和光强信息IT并进行计算,从而获得待测样品7的柔性基底层71和无机半导体层72的应力场。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人天津大学,其通讯地址为:300000 天津市南开区卫津路92号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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