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西安交通大学王亚强获国家专利权

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龙图腾网获悉西安交通大学申请的专利一种事故容错型Cr/Nb纳米多层涂层及其制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116145084B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310181149.3,技术领域涉及:C23C14/18;该发明授权一种事故容错型Cr/Nb纳米多层涂层及其制备方法是由王亚强;王佳宁;张金钰;吴凯;刘刚;孙军设计研发完成,并于2023-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。

一种事故容错型Cr/Nb纳米多层涂层及其制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种事故容错型CrNb纳米多层涂层及其制备方法,通过磁控溅射在洁净的硅基体上沉积制备CrNb纳米多层涂层,其原理是Ar气经辉光放电后产生高密度Ar+,Ar+在电场的作用下被强烈吸引到负电极并以高速率轰击金属Cr直流靶和金属Nb直流靶,形成碰撞级联过程溅射出靶原子和二次电子,Cr原子和Nb原子最终反向运动至阳极的硅基体上沉积,而二次电子在正交电磁场的运动方向与电场、磁场垂直,以旋轮线的形式循环运动,提高了Ar的电离率,增加了离子密度和能量,从而实现高速率溅射。该方法通过控制调制比来对事故容错型CrNb纳米多层涂层的微观结构进行调控,提高CrNb纳米多层涂层的抗氧化性能。

本发明授权一种事故容错型Cr/Nb纳米多层涂层及其制备方法在权利要求书中公布了:1.一种事故容错型CrNb纳米多层涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤1、对硅基体表面进行超声清洗并烘干; 步骤2、在真空环境下,采用Cr靶和Nb靶对硅基体进行直流磁控共溅射,Cr靶和Nb靶的沉积功率均为200W,沉积气压为0.3Pa,硅基体转速为10rmin,氩气流速为40sccm,沉积温度为室温,溅射沉积至预定厚度后,随炉冷却至室温得到CrNb纳米多层涂层; 所述磁控共溅射的总时间为16460s-18280s,各调制周期中,Cr靶的溅射时间为74~667s,Cr靶的溅射时间为770~86s; 所述磁控共溅射过程中,各个调制周期形成的Cr层和Nb层厚度之和相同,且各调制周期中形成的Cr层与Nb层厚度的调制比为0.1~9.0; 当调制比<1.00时,该CrNb纳米多层涂层的晶粒形貌为三角锥状的柱状晶; 当调制比≥1.00时,该CrNb纳米多层涂层的晶粒形貌为蠕虫状的柱状晶; 所述CrNb纳米多层涂层的厚度为2μm,各调制周期Cr层和Nb层的总厚度相同并为100nm; 所述CrNb纳米多层涂层的硬度为5.0GPa~7.0GPa。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人西安交通大学,其通讯地址为:710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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