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四川永祥新能源有限公司李兵获国家专利权

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龙图腾网获悉四川永祥新能源有限公司申请的专利一种三氯氢硅合成炉升温方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116354350B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310049121.4,技术领域涉及:C01B33/107;该发明授权一种三氯氢硅合成炉升温方法及系统是由李兵;蒲勇;张芥铭;明勇;庹如刚;张小强;彭杨;侯槟;杨加平设计研发完成,并于2023-02-01向国家知识产权局提交的专利申请。

一种三氯氢硅合成炉升温方法及系统在说明书摘要公布了:本发明公开了一种三氯氢硅合成炉升温方法,属于多晶硅生产中三氯氢硅合成技术领域,采用加热后的氯硅烷,或氢气和氯硅烷的混合气对三氯氢硅合成炉进行升温,三氯氢硅合成炉顶部的出料口连接后端的气体回收子系统,解决了现有技术中采用氮气对三氯氢硅合成炉进行升温的工艺存在大量的氮气、氯化氢浪费的问题,或采用加热后的氢气对三氯氢硅合成炉进行升温存在升温慢、影响生产效率的问题,同时本发明提出了与该工艺匹配的升温系统,装置、管线布置合理,便于调控,明显降低生产成本。

本发明授权一种三氯氢硅合成炉升温方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种三氯氢硅合成炉升温方法,其特征在于:采用经电加热器加热至出口端温度为350℃或380℃的氯硅烷;或采用经电加热器加热至出口端温度为350~380℃的氢气与氯硅烷混合气对三氯氢硅合成炉(1)进行升温,三氯氢硅合成炉(1)顶部的出料口连接后端的气体回收子系统(6); 当采用氢气和氯硅烷的混合气对三氯氢硅合成炉(1)进行升温时,先将氢气和氯硅烷混合、汽化、加热后,用于对三氯氢硅合成炉(1)升温。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人四川永祥新能源有限公司,其通讯地址为:614800 四川省乐山市五通桥区龙翔路999号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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