中山大学郑伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中山大学申请的专利一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115855844B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310030778.6,技术领域涉及:G01N21/27;该发明授权一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法是由郑伟;贾乐敏设计研发完成,并于2023-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法在说明书摘要公布了:本发明涉及金刚石鉴定技术领域,具体涉及一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法。本发明提供了一种利用光电测试来鉴定电子级金刚石的无损手段,在被测金刚石顶部和底部溅射电极制成器件,根据金刚石在不同入射光波长下的光电流信号计算出其随波长变化的外量子效率,再利用随波长变化的外量子效率光谱获取金刚石的光谱响应峰半高宽,最后将光谱响应峰半高宽小于15nm的金刚石判定为电子级金刚石。采用本发明的光电测试方法可以准确的鉴别电子级金刚石单晶质量是否达标,与ICP和SIMS检测方法相比具有无损耗、低成本、更全面反映金刚石质量等级的优点,为电子级金刚石质量鉴定领域提供了一种新型可靠的验证手段。
本发明授权一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法在权利要求书中公布了:1.一种鉴定电子级金刚石的光电测试方法,其特征在于,先根据金刚石在不同入射光波长下的光电流信号计算出其随波长变化的外量子效率,再利用随波长变化的外量子效率光谱获取金刚石的光谱响应峰半高宽,最后将光谱响应峰半高宽小于15nm的金刚石判定为电子级金刚石; 所述光电测试方法包括以下步骤: S1、在金刚石单晶顶部和底部分别溅射一层金属作为正极和负极组成金刚石器件,顶部金属为半透明电极,并将正极和负极相连接入电路中; S2、在真空条件下用入射光波长为160~280nm的光源照射金刚石器件顶部,利用源表输出不同波长下的光电流信号,并计算随波长变化的外量子效率,再由随波长变化的外量子效率光谱获取金刚石的光谱响应峰半高宽,最后将光谱响应峰半高宽小于15nm的金刚石判定为电子级金刚石; 所述步骤S1中,在金刚石单晶顶部溅射一层Pt作为半透明阳极,底部溅射Pt作为阴极,阴极下通过银胶接触蒸镀有Au金属的玻璃基板,所述金刚石器件从上而下依次由Pt层、金刚石层、Pt层和蒸镀有Au金属的玻璃基板组成; 所述步骤S2中,光源由连续紫外光源和光谱仪获得,入射光波长由280nm变化至160nm。
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