北京晶亦精微科技股份有限公司李嘉浪获国家专利权
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龙图腾网获悉北京晶亦精微科技股份有限公司申请的专利一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115946036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211618731.3,技术领域涉及:B24B37/013;该发明授权一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质是由李嘉浪;周庆亚;白琨;贾若雨;吴燕林;孟晓云设计研发完成,并于2022-12-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质在说明书摘要公布了:本发明提供一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质,应用于气体式研磨头,包括:根据各区域的压力设定值和实际压力值确定多个特征参数;根据预测函数计算使得函数输出值最小的各区域的压力设定值,预测函数是根据各特征参数及各特征参数的权重建立的,函数输出值用于表征压力设定值与实际压力值的差值,各特征参数的权重是基于已有数据集求解得到的;按照各区域的压力设定值控制气体式研磨头。本发明可以使研磨头各个区域的压力设定值更精确,精度控制更高。
本发明授权一种研磨压力修整方法、装置、计算机设备及介质在权利要求书中公布了:1.一种研磨压力修整方法,其特征在于,应用于气体式研磨头,所述气体式研磨头包括多个区域,所述方法包括: 根据各区域的压力设定值和实际压力值确定多个特征参数;多个所述特征参数包括:本区域设定压力、其它区域的设定压力、气动阀的摆动; 根据预测函数计算使得函数输出值最小的各区域的压力设定值,所述预测函数是根据各特征参数及各特征参数的权重建立的,所述函数输出值用于表征压力设定值与实际压力值的差值,各特征参数的权重是基于已有数据集求解得到的; 按照各区域的压力设定值控制所述气体式研磨头; 所述已有数据集中包括各区域的压力设定值和实际压力值,通过如下步骤确定各特征参数的权重: 根据所述已有数据集中各区域的压力设定值的期望值、实际压力值的期望值和实际压力值的方差确定标签量向量; 根据所述已有数据集中各区域的压力设定值和实际压力值计算各特征参数对应的特征量; 将所述特征量输入所述预测函数中,根据所述标签量向量和所述预测函数的差建立二范式矩阵; 对所述二范式矩阵求导,求取最优解,得到所述各特征参数的权重; 所述方法还包括: 获取按照各区域的压力值设定值控制所述气体式研磨头时,所述气体式研磨头各区域的实际压力值; 将各区域的压力设定值和实际压力值存入所述已有数据集中; 根据更新后的已有数据集更新所述各特征参数的权重; 所述方法还包括: 获取所述各特征参数的权重的可信度; 若所述各特征参数的权重的可信度符合预设条件,执行根据预测函数计算使得函数输出值最小的各区域的压力设定值的步骤。
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