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龙图腾网获悉吴向方申请的专利一种溅射电源控制系统以及控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115800798B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211601685.6，技术领域涉及：H02M9/00；该发明授权一种溅射电源控制系统以及控制方法是由吴向方设计研发完成，并于2022-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种溅射电源控制系统以及控制方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种溅射电源控制系统以及控制方法，涉及电源技术领域，为解决起弧放电对电源输出的影响。本发明提供一种溅射电源控制系统，包括单片机、第一比较器、图腾柱驱动电路、并联的两个碳化硅开关管、第二比较器、电流采样电阻以及第二高速光耦。其中，单片机，输出3.3VPWM脉冲信号。第一比较器正极接收高电平时，第一比较器将3.3V脉冲转变成12V脉冲输出。栅极与图腾柱驱动电路的输出端相连。漏极与容性负载相连。第二比较器正极输入端与碳化硅开关管的源极相连。电流采样电阻与碳化硅开关管的源极相连。第二高速光耦输入端与第二比较器的输出端相连，第二高速光耦的输出端与单片机相连，本发明用于镀膜机。

本发明授权一种溅射电源控制系统以及控制方法在权利要求书中公布了：1.一种溅射电源控制系统，其特征在于，包括： 单片机，输出3.3V的PWM脉冲信号； 第一比较器，正极输入端与所述单片机的输出端相连，所述第一比较器正极接收低电平时，输出低电平以及停止脉冲输出，所述第一比较器正极接收高电平时，所述第一比较器将3.3V脉冲转变成12V脉冲输出； 图腾柱驱动电路，与所述第一比较器的输出端相连； 并联的两个碳化硅开关管，栅极与所述图腾柱驱动电路的输出端相连，所述并联的两个碳化硅开关管的漏极与容性负载相连，所述并联的两个碳化硅开关管用于在接收高电平时连通，还用于接收低电平时断开； 第二比较器，正极输入端与所述碳化硅开关管的源极相连，所述第二比较器用于在正输入端接收低电平时输出低电平，还用于在正输入端接收高电平时转换输出12V电平； 电流采样电阻，与所述碳化硅开关管的源极相连，用于在放电时，输出至所述第二比较器正极输入端高电平，还用于在不放电时，输出至所述第二比较器正极输入端低电平； 第二高速光耦，输入端与所述第二比较器的输出端相连，所述第二高速光耦的输出端与所述单片机相连，所述第二高速光耦用于接收低电平时输出低电平，还用于在接收高电平12V时输出高电平3.3V； 其中，所述单片机用于在接收所述第二高速光耦输出的高电平3.3V时，停止若干个PWM脉冲信号输出。

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